판매용 중고 BROOKS AUTOMATİON EFEM #9358219

BROOKS AUTOMITEMEEFEM (BROOKS AUTOMEFEM) 은 다양한 공장 자동화 및 재료 처리 응용 프로그램에서 섬세한 웨이퍼와 구성 요소를 정확하고 빠르게 이동하고 처리하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 다용도, 고출력 머신 (high-throughput machine) 으로, 다른 프로세스 간에 웨퍼를 제어되고 안전한 방식으로 이동할 수 있습니다. 브룩스 EFEM 웨이퍼 핸들러 (Brooks EFEM wafer handler) 는 서보 모터, 모션 컨트롤러, 로봇 암, 수동 전송 카트 또는 웨이퍼 동작을 제어하기 위해 이러한 조합으로 구성된 모듈식 자동 장비입니다. 로봇 암 (robot arm) 은 시스템의 핵심 구성 요소이며 특정 응용 프로그램 요구 사항에 맞게 구성됩니다. 이 유연한 장치를 사용하면 정밀 웨이퍼 처리 및 전송, 어셈블리 작업, 머신 텐딩 (machine tending), 반도체 제작 등 다양한 어플리케이션을 포괄하는 다양한 웨이퍼 처리 구성을 사용할 수 있습니다. 로봇 암은 최대 450mm 직경의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 팔과 BROOKS AUTOMITALEEFEM의 베이스에 비해 웨이퍼의 각도 방향을 정확하게 제어하는 라디얼 액츄에이터 (radial actuator) 가 장착되어 있습니다. 이 설계는 다른 특수 프로세스 간에 웨이퍼를 이동하고 처리할 때 일관성이 있는 고정밀도 (high-precision) 각도를 허용합니다. 로봇 암 (robot arm) 은 또한 통합 웨이퍼 처킹 머신 (wafer chucking machine) 을 특징으로하며, 최적화된 성능을 위해 로봇 암을 멈추고 상태 메모리를 응용 프로그램 필수품에 따라 정확하게 배치 할 수있는 "스타트 스톱 (start-stop)" 작업을 제공합니다. "로봇 '은 시력 지침 과 정확 한" 웨이퍼' 정렬 을 위한 "카메라 '와 결합 된다. Brooks EFEM은 프로세스 간 웨이퍼를 300mm/sec의 속도로 정확하게 전송 할 수 있습니다. 또한 "로봇 '과 그 부속품 의 작동 을 제어 하기 위한 표준 명령 이 있다. 높은 정확도와 속도를 통해 웨이퍼 (wafer) 처리 시간이 단축되고 직관적인 제어 프로그램이 정확성을 보장합니다. 브룩스 브룩스 (Brooks BROOKS) AUTOMITALEEFEM은 고성능 구성 요소와 품질 구축으로 인해 오늘날 시장에서 가장 신뢰할 수있는 웨이퍼 처리 시스템 중 하나입니다. 결론적으로, EFEM은 효과적인 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 로서, 다양한 공장 자동화 및 재료 처리 응용 프로그램에서 섬세한 웨이퍼와 구성 요소를 정확하고 빠르게 이동하고 처리하도록 설계되었습니다. 모듈식 디자인과 유연성을 통해 매우 정밀한 각도 (angle/movement) 와 관련된 어플리케이션에 훨씬 더 유용합니다. 또한 현재 시장에서 가장 신뢰할 수있는 웨이퍼 (Wafer) 취급 시스템 중 하나입니다. 고성능 구성 요소와 시공입니다. 대부분의 자동화된 공장 (factory) 환경의 요구를 충족시키는 이상적인 도구입니다.