판매용 중고 BROOKS AUTOMATİON EFEM #293600201

BROOKS AUTOMITEMEEFEM은 자동화된 공장 기반 환경을 위해 특별히 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 업계 생산 프로세스의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있는 안정적이고, 빠르고, 낮은 유지 관리 솔루션을 사용자에게 제공합니다. 이 시스템은 생산 과정에서 한 스테이션에서 다른 스테이션으로 와퍼를 안전하게, 정확하게 운반하는 우산 같은 로봇 암 (robot arm) 을 사용합니다. 로봇 암은 공압 구동 선형 액추에이터 (pneumically driven linear actuator) 와 매우 정밀한 모터를 사용하여 매끄럽고 제어 된 동작을 용이하게합니다. 로봇 암 (robot arm) 은 사각 격자 형태로 함께 연결된 일련의 연동 정사각형 섹션으로 구성된 개리 마운트 스틸 프레임 (gantry mounted steel frame) 에 연결됩니다. 이 튼튼 한 틀 은 "로봇 '의 움직임 을 지지 하는 데 필요 한 구조적 무결성 을 제공 한다. EFEM 장치는 또한 웨이퍼 처리 프로세스의 미세 조정 및 최적화를 허용하는 고급 소프트웨어 (advanced software) 를 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 정교한 알고리즘과 매개변수 (parameters) 를 특징으로하며, 사용자 정의 (user-defined) 를 통해 로봇 암이 운영 환경의 변화에 실시간으로 대응할 수 있습니다. 다른 웨이퍼 (wafer) 크기와 모양을 수용하기 위해 로봇의 이동 패턴을 쉽게 수정할 수 있습니다. 이 기계의 모듈식 설계 (modular design) 는 또한 자동화 효율성과 다용도를 높이기 위해 추가 컴포넌트를 쉽게 추가 할 수 있음을 의미합니다. 예를 들어, 동일한 프레임에 여러 개의 로봇 암을 부착하여 동시 웨이퍼 (wafer) 전송을 허용할 수 있습니다. 게다가, "플레이트 팔레트 '," 바구니' 및 "트레이 '등 여러 가지" 웨이퍼' 표지 를 부착 하여 그 들 의 생산 과정 의 구체적 인 필요 에 따라 그 도구 를 융통성 있게 구성 할 수 있다. 요약하자면, BROOKS AUTOMITEMEEFEM (AUTOMETIMEEFEM) 은 업계 사용자에게 생산공정을 위한 효율적이고, 비용 효율적이며, 신뢰성이 높은 솔루션을 제공하는 신뢰성 있는 웨이퍼 처리 자산입니다. 사용자 친화적인 소프트웨어, 간편한 구성 요소 설치, 유연성 덕분에 다양한 wafer 전송 어플리케이션 (wafer transport application) 에 적합합니다.