판매용 중고 BROOKS AUTOMATION E40001182 and E19013780 #57120

BROOKS AUTOMATION E40001182 EChanger와 E19013780 EChanger는 반도체 및 광전자 장치 처리를 위해 특별히 설계된 두 개의 웨이퍼 핸들러입니다. 이러한 고성능 머신은 자동 웨이퍼 처리, 열 관리, 검사 기능을 제공하여 처리량을 극대화하고 디바이스 생산량을 향상시킵니다. EChanger 는 저장 위치에서 처리 스테이션으로 wafer 를 이동할 수 있도록 설계되었습니다. 기계의 주요 구성 요소에는 메인 프레임, 서보 모터, 드라이브 유닛 및 셔틀이 포함됩니다. 주 프레임은 2 개의 기본 지지대와 servomotor, 드라이브 유닛 및 기타 구성 요소를 수용하는 중앙 프레임으로 구성됩니다. 서보 모터는 셔틀 및 관련 공구의 정렬, 변환, 회전을 담당합니다. 드라이브 장치는 모터 (motor), 기어박스 (gearbox) 및 장비의 동기화, 타이밍 및 제어를 담당하는 컨트롤러로 구성됩니다. EChanger 는 다양한 모션 패턴을 통해 다양한 wafer 크기와 weight 를 전송할 수 있습니다. 이 기계는 정밀 동작 스크리빙, 열 에너지 프로파일러, 스캔 필드 조정 (scan field adjustment) 을 사용하여 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다. 이 기계는 웨이퍼 평면을 유지하고, 카세트를 최대 200 개 이상의 웨이퍼로 처리하며, 처리 중 실시간 열 관리를 제공하도록 설계되었습니다. EChanger는 안전한 작업 환경을 위해 안전 기능으로 구성됩니다. "셔틀 '의 우발적 인 활성화 를 방지 하기 위한 안전 연동장치 (Safety Interlock System) 가 있으며 비상 또는 사용자 의 오류 가 생길 경우 비상 정지 (Emergency Stop) 단추 를 갖추고 있다. 또한 긴급 상황에서 장치를 종료하기위한 비상 전원 끄기 (Emergency Power-Off) 스위치가 있습니다. EChanger는 또한 깨끗한 운영 환경을 보장하기 위해 먼지와 수분을 보호합니다. EChanger의 웨이퍼 핸드 오버 (wafer hand-over) 기능 외에도 E19013780 EChanger에는 운영자가 웨이퍼를 확인하고 장치의 상태를 검사 할 수있는 검사 스테이션이 장착되어 있습니다. 여기에는 고정밀 CCD 카메라, 온보드 조명 머신 및 3 가지 고급 이미지 처리 기술 (Ultra Clear, Contrast Protection 및 Dual Image Trace) 이 포함됩니다. 이러한 기능은 정확한 수율 분석 및 장치 특성화를 위해 더 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공합니다. BROOKS AUTOMATION EChanger 's는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 솔루션을 제공합니다. 서보 모터 (servomotor), 드라이브 유닛 (drive unit), 정밀 동작 스크라이빙 (precision motion scribing) 기술 등의 기능 덕분에 웨이퍼의 처리량을 극대화하고 정밀하게 정렬할 수 있습니다. 또한 검사 스테이션 (Inspection Station) 및 실시간 열 관리 (Thermal Management) 기능을 포함한 다른 기능이 장착되어 있어 반도체 및 광전자 장치 처리에 이상적입니다.