판매용 중고 BROOKS AUTOMATION DBM 2406 #9260208
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BROOKS AUTOMATION DBM 2406 Wafer Handler는 반도체 웨이퍼를 처리 및 포장하기위한 자동 장비입니다. "와퍼 '를" 카세트' 에서 "카세트 '로 자동 옮기면서" 웨이퍼' ID 테스트 와 "웨이퍼 '정렬 과 같은 여러 가지 다른 처리 작업 을 할 수 있다. 첨단 설계를 통해 안정적이고 효율적인 운영, 인건비 최소화, 생산과정 효율성 향상 등의 효과를 얻을 수 있습니다 (영문). BROOKS AUTOMATION DBM-2406은 전송 모듈, 제어 모듈, 척 모듈, 프로세서/테스트 모듈 등 여러 모듈로 구성된 모듈식 시스템입니다. 전송 모듈은 선형 드라이브 장치 (Linear Drive Unit) 와 와퍼 홀더 (Wafer Holder) 시리즈로 구성되며, 와퍼는 카세트에서 다른 카세트로 자동으로 전송됩니다. 제어 모듈은 시스템, wafer ID 테스트, wafer 정렬 등의 기능을 자동으로 제어합니다. 척 (chuck) 모듈은 웨이퍼 처리를 허용하고 프로세서/테스트 모듈은 웨이퍼에 대한 다양한 테스트 및 측정을 허용합니다. DBM 2406은 200mm 및 300mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 조정 가능한 홀더로 인해 얇은 웨이퍼를 손상시키지 않고 처리 할 수 있습니다. 운영자에 대한 보호 실드 (Protective Shield), 자산에 대한 무단 액세스를 방지하는 잠금 도구 (Lock Tool) 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 또한 DBM-2406 은 다양한 프로세스 설정 (process setting) 을 지원하므로, 고객의 운영 요구에 맞게 모델을 사용자 정의할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION DBM 2406 Wafer Handler는 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수있는 고급 장비입니다. 모듈식 설계 (Modular Design) 와 안전 (Safety) 기능을 통해 쉽게 사용할 수 있으며 다양한 유연한 프로세스 설정을 통해 사용자는 운영 요구에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 반도체 웨이퍼의 자동 처리 및 포장에 이상적인 장치입니다.
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