판매용 중고 BROOKS AUTOMATION DBM 2406 #9255520

ID: 9255520
빈티지: 2006
Robot With track 2006 vintage.
BROOKS AUTOMATION DBM 2406은 복합 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 다기능 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러는 2 ~ 8 인치 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 특정 어플리케이션 요구 사항에 맞게 구성할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러는 다이 본딩, 웨이퍼 라이닝, 자동 백사이드 웨이퍼 클리닝과 같은 응용 프로그램에 이상적입니다. BROOKS AUTOMATION DBM-2406은 고속 전송 메커니즘, 통합 웨이퍼 히터, 조정 가능한 웨이퍼 리프트 메커니즘 및 자동 틸트 메커니즘을 포함한 여러 기능을 제공합니다. DBM 2406은 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수있는 하이브리드 스테퍼/DC 모터 구동 운송 메커니즘을 사용합니다. 이 전송 메커니즘은 wafer positioning, loading/unloading, wafer thinning 등의 작업의 처리량과 정확성을 최적화하기 위해 설계되었습니다. 또한 DBM-2406에는 통합 웨이퍼 히터가 포함되어 있습니다. 이를 통해 최종 제품의 생산량 및 품질이 향상되도록 하는 정확하고 균일한 온도를 제공합니다 (영문). BROOKS AUTOMATION DBM 2406에는 조정 가능한 웨이퍼 리프트 메커니즘도 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 웨이퍼를 쉽고 정확하게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 리프트 (wafer-lift) 메커니즘은 빠른 릴리즈 메커니즘으로 설계되어 시스템 전원을 끄지 않고도 새 웨이퍼를 빠르게 로드할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION DBM-2406은 자동 기울기 메커니즘도 제공합니다. 이 기울기 장치 (tilt mechanism) 를 사용하면 웨이퍼를 자동으로 최적의 각도로 기울일 수 있으므로 처리량과 정확도가 향상됩니다. 전반적으로, DBM 2406은 복합 반도체 웨이퍼 처리에 최적의 성능과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 고속 전송 메커니즘, 통합 웨이퍼 히터, 조절 가능한 웨이퍼 리프트 메커니즘, 자동 기울기 (automated tilt) 메커니즘은 최종 제품의 고품질 및 수율을 보장하는 데 도움이 됩니다. 또한 DBM-2406 은 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하도록 쉽게 구성할 수 있도록 설계되었습니다.
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