판매용 중고 BROOKS AUTOMATION DBM 2406 #9067050
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BROOKS AUTOMATION DBM 2406은 다양한 반도체 제조 환경에서 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. wafer loading, unloading, sorting 및 inspection 작업을 수행하는 데 사용할 수 있는 다양한 플랫폼입니다. BROOKS AUTOMATION DBM-2406은 요소 방향을위한 회전 축과 함께 X, Y 및 Z 방향으로 움직일 수있는 완전 4 축 간트리 로봇 장비입니다. 오염 없는 작동 인증을 받았으며 최대 600mm/초의 속도로 최대 6개의 300mm (12 인치) 웨이퍼를 수직으로 처리 할 수 있습니다. DBM 2406은 새로운 "플릭 푸시 (flick-push)" 기술을 사용하여 시스템 내에서 웨이퍼를 매우 정확하게 배치하고 픽앤 플레이스 (pick-and-place) 기능을 활용하여 효율적으로 로드 및 언로드할 수 있습니다. 웨이퍼는 웨이퍼를 식별하고 순차적으로 운송 캐러셀에 로드하는 비전 기반 장치 (vision-based unit) 를 통해 로드, 언로드 및 정렬됩니다. 좋은 "웨이퍼 '와 검사 나 수리 를 필요 로 하는" 웨이퍼' 를 분리 하는 데 사용 할 수 있다. DBM-2406 은 광범위한 프로세스별 요구 사항을 충족하도록 손쉽게 조정할 수 있습니다. 최신 로봇 컨트롤, 강력한 비전 머신, 직관적 인 운영자 인터페이스 (Operator Interface) 가 장착되어 있습니다. 고급 기능에는 자동 교정, 통합 물리 엔진 (Unified Physics Engine), 운영 및 프로그래밍을 용이하게 하는 프로세스 친화적 인 소프트웨어 도구 세트가 포함됩니다. 면적은 1 평방 미터에 불과하며, 많은 수정 없이 대부분의 제조 라인에 장착 할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION DBM 2406의 설계는 강력하고 안정적이며, 24/7의 지속적인 운영에 적합합니다. 고품질 (High Quality) 재료로 제작되었으며 적절한 성능을 보장하기 위해 광범위한 품질 보증 테스트를 거쳤습니다. 이 툴은 손쉬운 유지 관리를 위한 모듈식 (modular) 설계를 갖추고 있으며, 필요한 경우 구성 요소를 쉽게 교체할 수 있습니다. 광범위한 서비스/지원 네트워크 (Service and support Network) 를 통해 지원되며 포괄적인 기술 지원 서비스 패키지를 구매할 수 있습니다. 요약하면, BROOKS AUTOMATION DBM-2406은 뛰어난 다용성과 사용자 친화적 인 작업을 제공하는 고급 Gantry 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 다양한 반도체 제조 작업에 적합하며, 신뢰성이 높고 효율적입니다. 모듈식 설계와 직관적인 인터페이스 (interface) 를 통해 프로세스 요구에 따라 쉽게 구현하고 최적화할 수 있습니다.
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