판매용 중고 BROOKS AUTOMATION DBM 2406 #293751006
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BROOKS AUTOMATION DBM 2406 웨이퍼 핸들러는 완전 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 로봇 웨이퍼 이동 및 처리에서 높은 정밀도에 사용됩니다. 이 장치에는 2 개의 4 인치 카세트가 나란히 앉아 핸들러에게 2 개의 개별 액세스 레벨을 제공하는 독특한 "Dual Bookshelf" 디자인이 있습니다. 따라서 웨이퍼를 전송, 정렬, 저장할 때 유연성이 극대화됩니다. 이 기계에는 듀얼 스핀들 디자인의 6 축 로봇 암이 장착되어 있습니다. 이 도구를 사용하면 로봇이 이동하기 위해 총 6 개의 경로를 사용할 수 있으며, 높은 정확도로 웨이퍼를 배치할 수 있습니다. 로봇은 두 선반 레벨에 모두 액세스 할 수 있으며 최대 600mm (mm) 에 이릅니다. 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 운송 할 수 있으며, 최대 3m/s 속도로 웨이퍼를 전송하도록 설계되었습니다. 브룩스 자동화 (BROOKS AUTOMATION) DBM-2406 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 제공하며 운영자가 복잡성 없이 프로그래밍할 수 있도록 설계되었습니다. 여기에는 PLC (programmable logic controller) 를 사용하여 자산의 작업을 유능한 방식으로 실행할 수 있습니다. 이 모델은 각 카세트에 최대 20 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 유지 보수 요건이 낮도록 설계되었으며, 컨트롤러는 반복 가능성 (repeatability) 과 일관성 (consistency) 을 통해 매번 정확한 웨이퍼 이동을 보장합니다. 이 장비는 또한 운영자와 자재 모두에게 안전하고 안전한 환경을 제공합니다. 시스템에 레시피 컨트롤러 (Recipe Controller) 가 내장되어 있어 빠르고 쉽게 프로그램을 액세스할 수 있습니다. 이 장치는 안전하고 효율적으로 웨이퍼를 처리하도록 설계되었으며, 미립자 제어 및 제거와 관련하여 반도체 업계의 모범 사례 (Best Practice) 를 따릅니다. DBM 2406 Wafer Handler는 정확도를 유지하면서 여러 가지 다른 운영 시퀀스를 동시에 실행할 수 있습니다. 또한 여러 바코드 판독 기능, 포드 처리 장치 (pod handling machine), 로봇 암에 빠르게 액세스할 수 있는 공구가 필요 없는 액세스 커버 (Tool-Free Access Cover) 등 다양한 기능을 제공합니다. 전반적으로 DBM-2406 Wafer Handler는 최고 수준의 정확성, 안전성, 사용 편의성을 위해 설계된 고급적이고 효율적인 도구입니다. 이 자산은 모든 웨이퍼 (wafer) 처리 애플리케이션에 효율적인 솔루션을 제공하며, 다양한 업종에 적합합니다.
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