판매용 중고 BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2 #9015227

브룩스 자동화 DBM 2406-V2 (BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2) 는 제작자, 반도체 장치 제조업체, 연구 개발 실험실을 위한 안정적인 웨이퍼 전송 및 생산을 가능하게 하는 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 컨베이어 기반 웨이퍼 핸들러, 웨이퍼 셔틀 및 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 처리를 위해 2 축 로봇 암으로 구성됩니다. 컨베이어 (Conveyor) 장치는 고정밀도 정확성과 반복성을 유지하면서 초당 최대 300mm까지 하나 이상의 웨이퍼를 찾기, 추적, 배치할 수 있는 비전 기반 (vision) 중심 머신으로 설계되었습니다. 웨이퍼 셔틀은 전용, 초저효율 (ultra-low-profile) 설계를 사용하여 여러 웨이퍼 카세트를 최대 처리율로 효율적으로 로드 및 언로드할 수 있습니다. 2 축 로봇 암은 정확하고 반복 가능한 선택 및 웨이퍼 장소를 위해 설계되었습니다. DBM 2406-V2 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 여러 웨이퍼 크기로 작동 할 수 있으며, 중심점에서 15µm 이내에 각 웨이퍼를 측정하고 그에 따라 속도를 조정할 수 있습니다. 최대 600mm 또는 최대 300mm (몽타주 작동) 를 처리하면서 높은 정밀도와 반복성을 유지하도록 설계되었습니다. 또한 웨이퍼 핸들러는 성능 저하 없이 실리콘, 발광 다이오드 (LED), 유리 등 다양한 유형의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION DBM 2406-V2 웨이퍼 핸들러는 안정된 생산률로 정확하고 반복 가능한 웨이퍼를 생산해야 하는 모든 반도체 제조 설비에 적합합니다. 이 도구의 컨베이어 기반 웨이퍼 핸들러, 웨이퍼 셔틀 (wafer shuttle) 및 2축 (two-axis) 로봇 암은 낮은 소유 비용을 유지하면서 가장 높은 처리량과 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 웨이퍼 처리 자산은 장비를 운영하는 웨이퍼 (wafer) 와 인력 (people) 모두에 가장 높은 안전성을 보장하기 위해 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼 및 연동 모델 (Interlock Model) 과 같은 안전 기능으로 설계되었습니다.