판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Backbone #9294030
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BROOKS AUTOMATION Backbone 웨이퍼 핸들러는 200mm 및 300mm 반도체 웨이퍼에 대한 정밀 생산 처리 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 단일 축 레일 기반 웨이퍼 (wafer) 전송이 장착되어 있어 웨이퍼 속도와 위치를 독립적으로 제어할 수 있으므로 복잡한 멀티 축 웨이퍼 (multi-axis wafer) 전송 메커니즘이 필요하지 않습니다. 이는 기존의 멀티 축 웨이퍼 핸들러 솔루션보다 훨씬 간단하고 효율적인 전송 솔루션을 제공합니다. 백본 웨이퍼 핸들러 (Backbone Wafer Handler) 에는 통합 터치 스크린 운영자 인터페이스가 포함되어 있어 웨이퍼 처리 기능을 쉽고 직관적으로 제어할 수 있습니다. 이를 통해 연산자는 다양한 매개변수를 빠르게 입력하고 필요에 따라 시스템을 재구성할 수 있으며, 새로운 연산자 (on boarding) 와 관련된 학습 곡선을 단순화합니다. 브룩스 자동화 백본 웨이퍼 핸들러 (BROOKS AUTOMATION Backbone wafer handler) 에는 레일의 통제되지 않은 움직임을 방지하고 운영자 안전을 촉진하는 데 도움이 되는 내장 안전 기능도 포함되어 있습니다. 백본 웨이퍼 (Backbone Wafer) 전송 메커니즘은 정밀 베어링 슬라이드의 조합으로 구성되며, 고밀도 롤러와 베어링, 안정된 기초를 갖춘 솔리드 스틸 프레임으로 구성됩니다. 이를 통해 BROOKS AUTOMATION Backbone Wafer Handler는 왜곡 또는 오염 위험이 제한되어 있는 Wafer를 포인트 투 포인트 (point) 로 정확하게 전송할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 자동 포지셔닝 기능 (auto-positioning capability) 을 갖추고 있어 단일 이동으로 여러 개의 칩을 픽업할 수 있으므로 고출력 (high-production throughput) 을 달성할 수 있습니다. 백본 웨이퍼 핸들러 (Backbone wafer handler) 는 통합 터치 스크린 운영자 인터페이스 외에도 표준 인터페이스나 사용자 정의 인터페이스를 사용하여 다른 공장 자동화 하드웨어/소프트웨어 시스템과 완벽하게 통합되도록 설계되었습니다. 이를 통해 기존 제조 시스템에 쉽게 통합할 수 있으며, 레시피 제어 웨이퍼 처리 (recipe-controlled wafer handling) 또는 기타 부가 가치 (value-adding) 기능과 같은 다양한 자동화 프로세스가 가능합니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION Backbone 웨이퍼 핸들러는 프로덕션 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위한 안정적이고, 직관적이며, 효율적인 솔루션입니다. 통합 터치스크린 (Touch Screen) 운영자 인터페이스는 자동 포지셔닝 및 통합 소프트웨어 기능과 함께 백본 웨이퍼 (Backbone Wafer) 핸들러 (Handler) 를 운영 프로세스를 최적화하려는 사람들에게 적합한 옵션으로 제공합니다.
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