판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Backbone #9294028

브룩스 자동화 백본 (BROOKS AUTOMATION Backbone) 은 반도체 제조업체가 반도체 웨이퍼를 이동 및 처리하는 데 사용하는 과학 기기의 한 유형입니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 의 주요 목적은 웨퍼 (Wafer) 운송 및 처리를 최소한의 수동 개입으로 한 단계의 제작에서 다음 단계로 자동화하는 것입니다. 백본 (Backbone) 은 처리 단계 중 반도체 웨이퍼 (wafer) 수송을 가능하게 하고 확장 처리 실행 중 웨이퍼 (wafer) 를 저장할 수 있도록 설계된 완전 자동화된 웨이퍼 처리 장비입니다. 그 핵심에서, 브룩스 자동화 백본 (BROOKS AUTOMATION Backbone) 은 제작 과정에서 웨이퍼를 전송 및 저장하는 데 사용되는 일련의 운송 메커니즘과 챔버 모듈로 구성됩니다. 전송 메커니즘은 입력 (input) 모듈에서 지정된 처리 (processing) 모듈로 웨이퍼를 이동하는 데 사용되며, 챔버 (chamber) 모듈은 시스템 내에서 구체화 지점 역할을합니다. 각 모듈은 섬세한 프로세스를 위해 대기의 동적 청소 (dynamic cleaning) 또는 사전 조절 (pre-conditioning) 과 같은 특정 압력, 온도, 환경 및 청결 요구 사항을 유지하도록 설계되었습니다. 또한 "백본 '에는 압력 과 온도 와 같은 장치 의 상태 를 측정 하는" 센서' 가 장착 되어 있다. 정확하고 안전한 배달을 위해 BROOKS AUTOMATION Backbone은 안전 측정 (Safety Measure) 뿐만 아니라 정밀 제어 기능을 제공하는 고급 모션 제어 시스템으로 설계되었습니다. 이것 은 "웨이퍼 '운반 대 가 정확 하게 움직 이고, 올바른 방향 으로, 운반 대 간 에 접촉 이 없으며, 운반 대 가 아무런 손상 도 없이 주의 깊이" 웨이퍼' 를 처리 하고 있다는 것 을 확신 하는 데 필요 하다. 백본은 또한 200mm, 300mm, tappered 및 기타 사용자 정의 크기와 같은 다양한 유형의 웨이퍼 캐리어를 지원합니다. 고온 프로세스에 적합한 캐리어도 제공됩니다. 이 기계는 또한 다양한 웨이퍼 크기에 대한 소프트웨어를 통해 쉽게 조정하고 수정할 수 있습니다. 전반적으로, BROOKS AUTOMATION Backbone은 안전하고 정확하며 효율적인 웨이퍼 운송 및 저장 기능을 제공하는 안정적이고 정교한 웨이퍼 처리 도구를 나타냅니다. 수동 처리를 단순화하고 제어 가능한 진공 (controllable vacuum) 으로 반복 가능한 퍼니스 (furnace) 프로세스와 이러한 프로세스 단계를 통해 웨이퍼의 정확한 이동을 지원합니다. 대용량 생산에서 R&D (R&D) 에 이르기까지 광범위한 웨이퍼 처리 애플리케이션을 위한 최고의 옵션입니다.