판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS #9281505

BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS는 고정밀, 고속 자동 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 장비는 8 인치에서 12 인치 웨이퍼까지 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 견고한 설계와 견고한 부품으로, 시스템은 높은 처리량과 안정성을 얻을 수 있습니다. Backbone-VTS는 최고 정밀도를 유지하기 위해 설계된 안정적인 웨이퍼 모션 컨트롤로 로봇 암을 사용합니다. 각 암 (arm) 은 지원 구조에 안전하게 장착되어 종합적인 제어 세트를 통해 작동합니다. 이 장치는 웨이퍼 캐리어 모터 이동을 위해 솔리드 스테이트 DC 서보 컨트롤러를 사용합니다. 컨트롤러는 다양한 웨이퍼 크기 (wafer sizes), 이동 (movements) 및 위치 (location) 에 걸쳐 동작 속도가 빠르고 정확하게 변경할 수 있습니다. 이 기계는 서브 미크론 포지셔닝과 정확한 웨이퍼-핸들러 (Wafer-to-Handler) 정렬 및 제어를 위한 해상도를 갖춘 두 개의 독립적인 고 토크 스테핑 모터를 갖추고 있습니다. 기계 구성 요소와 함께, 이 도구에는 지능형 제어 자산도 포함되어 있습니다. 이 모델에는 와퍼 (wafer) 의 크기와 방향을 감지하고 카세트 내부의 환경 조건을 측정하는 다양한 센서가 포함되어 있습니다. 컨트롤러는 로봇 암의 움직임을 제어하고, 웨이퍼 (wafer) 운송 루틴을 실행하고, 여러 웨이퍼 전송을 조정하고, 웨이퍼 위치와 상태를 추적하도록 프로그래밍됩니다. 또한 컨트롤러는 오류를 인식하고 자동으로 수정 작업을 시작할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS는 뛰어난 성능을 제공하도록 설계된 종합적인 장비 아키텍처를 갖추고 있습니다. 즉, 모듈식 설계를 통해 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 장치에는 고속 핸들러 관리 소프트웨어, 모든 기능을 갖춘 핸들러 디버깅 소프트웨어 등 다양한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 유형의 산업 프로토콜 (industry protocol) 을 지원하므로 기계를 다른 장치와 직접 통합 할 수 있습니다. Backbone-VTS는 가장 효율적이고 효율적인 웨이퍼 핸들러 중 하나입니다. 견고하고 안정적인 설계, 정확한 wafer-to-handler (wafer-to-handler) 조정 및 포괄적인 소프트웨어 패키지를 통해 높은 처리량, 높은 정확도, 높은 신뢰성을 필요로 하는 어플리케이션에 적합합니다. '자동 웨이퍼 (Automated Wafer)' 처리 요구 사항을 충족하는 완벽한 솔루션입니다.