판매용 중고 BROOKS AUTOMATION ATR-8 #9064554

브룩스 자동화 ATR-8 (BROOKS AUTOMATION ATR-8) 은 진공 및 압력 제어 환경에서 웨이퍼를 안정적으로 운송하고 교환하도록 설계된 업계 표준 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장비는 초당 25 개의 웨이퍼에서 최대 8 개의 병렬 웨이퍼를 정확하게 처리하고 전송하는 고속, 프런트 엔드 웨이퍼 처리 로봇을 갖추고 있습니다. 로봇 암 빔은 부드럽고 정확한 동작을 위해 높은 토크, 다이렉트 드라이브 모터로 구동됩니다. 이 시스템에는 BROOKS AUTOMATION ATR8 소형 공정 챔버도 포함되어 있으며, 저압 환경을 만들기 위해 빠르게 대피 할 수 있습니다. ATR-8은 또한 웨이퍼 처리 로봇 (Wafer Handling Robot) 과 프로세스 챔버 (Process Chamber) 사이에 일관되고 신뢰할 수있는 인감을 제공하여 고품질의 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 장치에는 강력한 전자 피드백 (feedback) 이 장착되어 있어, 운영자가 필요에 따라 로봇 암의 속도를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한, ATR8은 대부분의 표준 웨이퍼 형식과 호환되므로 쉽게 교환할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION ATR-8은 안전하고 효율적인 웨이퍼 처리 프로세스를 위해 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이러 한 특징 들 가운데 는 "로봇 '무기 를 사용 하고" 웨이퍼' 를 안전 하게 처리 하는 전기 기계 "브레이크 '기계 가 있다. 이 도구는 또한 섬세한 웨이퍼를 처리하면서 운영자 안전을 보장하기 위해 가장 향상된 안전 인지도 (Safety Interlock) 시스템, 카드 리더기 및 시각적 인식 기술을 갖추고 있습니다. 또한, 자산에는 공정 챔버에서 열 또는 화학 수치를 감지하기위한 여러 센서가 장착되어 있습니다. BROOKS AUTOMATION ATR8에는 웨이퍼 온도, 가스 수준, 챔버 압력 및 유량과 같은 매개변수를 모니터링하는 고급 프로세스 제어 모델도 포함되어 있습니다. 이 기능을 통해 연산자는 웨이퍼 처리 조건을 빠르고 정확하게 분석, 조정, 최적화할 수 있습니다. 전반적으로, ATR-8은 진공 및 압력 환경에서 웨이퍼를 처리 및 운송하기위한 효율적이고 안정적인 장비입니다. 고급 안전 (advanced safety) 기능, 강력한 전자 피드백 시스템, 프로세스 제어 기능의 조합으로 중요한 웨이퍼 처리 어플리케이션에 적합합니다.