판매용 중고 BROOKS AUTOMATION ATR-8 #293770385

브룩스 자동화 ATR-8 (BROOKS AUTOMATION ATR-8) 은 지정된 작업 공간 범위 내에서 웨이퍼를 효과적으로 전송, 정렬 및 정렬하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. BROOKS AUTOMATION ATR8은 반도체 및 이미지 센서 제조 공장의 웨이퍼 처리, 분석 연구 및 고밀도 웨이퍼 스토리지에 적합합니다. 이 기계는 와이드 베이스 및 로드 베어링 플랫폼을 갖추고 있으며, 직경 230mm 웨이퍼 카세트를 운반 할 수 있습니다. 게다가, 높은 토크 모터와 차세대 잠수성 드라이브로 인해 웨이퍼 트레이의 움직임을 정확하게 제어 할 수 있습니다. ATR-8에는 오류 없는 처리를 위해 센서 배열과 스마트 구성 요소가 장착되어 있습니다. 예를 들어, 기계는 마이크로초 단위의 웨이퍼를 정확하게 중심화할 수있는 ABVision ™ 2D 정렬 시스템과 통합됩니다. 이 기계는 또한 VCA (Vacuum Control Assistance) 와 통합되어 소위 "진공" 웨이퍼 전송을 가능하게합니다. 이렇게 하면 기계 가 "웨이퍼 '크기 의 변화 에 신속 히 반응 을 보이게 되고, 그것 은 그 일 을 위한 안정적 이고 안전 한 도구 가 된다. 기계의 개선 된 기계 설계는 또한 운영 비용을 줄이는 데 도움이됩니다. ATR8은 특허를받은 공기 베어링 (air-bearing) 지원 암 보유기를 사용하여 시스템 전체에서 웨이퍼 이동의 안정성을 증가시켜 진동과 관련된 위험을 줄입니다. 따라서 웨이퍼 파손 및 기타 유지 보수 비용을 최소화할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION ATR-8은 또한 간단한 설계를 통해 운영자가 쉽게 탐색할 수 있습니다. 이 기계는 수평 및 수직 전송 프로세스와 모두 호환되도록 설계되었습니다. 전송 프로토콜 (Transfer Protocol) 은 광범위한 작업에 맞게 구성될 수 있으며, 서로 다른 트레이 로드/언로드 시퀀스에 대해 설정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 C 축 정렬을 특징으로하며, 서로 다른 시나리오에서 웨이퍼를 빠르고 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 결론적으로 BROOKS AUTOMATION ATR8은 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 웨이퍼 핸들러입니다. "센서", "컴포넌트" 및 "기계적" 설계를 통해 운영 효율을 높이고 운영 비용을 절감할 수 있습니다. 또한, 광범위한 프로세스와의 호환성, 웨이퍼를 빠르고 정확하게 정렬하는 기능, 반도체 (semiconductor) 및 이미지 센서 제조 공장 (Image Sensor Fabrication Plant) 에 적합한 툴입니다.