판매용 중고 BROOKS AUTOMATION ATR-8 #293661956

BROOKS AUTOMATION ATR-8 웨이퍼 핸들러는 지능적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 자동화 장비입니다. 이 시스템은 완전하고, 자동화되고, 정확한 웨이퍼 처리 및 전송을 제공하도록 설계되었습니다. 작업 조건과 비근무 조건 모두에서 웨이퍼를 운송 및 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 안전한 저장 (secure storage) 및 조립용 캐비닛과 내장 명령 인터페이스가있는 정밀 로봇 암 (precision robot arm) 으로 구성됩니다. 브룩스 자동화 (BROOKS AUTOMATION) ATR8은 간단하면서도 강력한 명령 인터페이스를 사용하여 프로그래밍되며, 이를 통해 웨이퍼 이동을 완벽하게 자동화할 수 있습니다. ATR-8은 최대 12 인치 직경의 모든 표준 200mm (8 인치) 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 ATR8을 사용하여 8 인치에서 12 인치 웨이퍼 카세트를 처리 할 수도 있습니다. BROOKS AUTOMATION ATR-8은 여러 요소로 구성되어 있습니다. 코어 머신은 고정밀 로봇 암과 감각 단계를 기반으로합니다. 로봇 암 (robot arm) 은 공구의 작업마이며 공정 챔버 (process chamber) 와 카세트 (cassette) 로 웨이퍼를 옮기는 책임이 있습니다. 이 자산은 또한 강력한 통합 제어 컴퓨터 (Integrated Control Computer) 를 통해 각 전송에 대한 세부 정보를 저장하고 처리합니다. 브룩스 자동화 ATR8 (BROOKS AUTOMATION ATR8) 은 또한 열 주택 모델을 사용하여 다른 공정 온도 사이에서 웨이퍼를 안전하게 이동합니다. 열 주택 장비 (thermal housing equipment) 는 정확한 온도 제어를 유지하면서 이동 중에 웨이퍼가 열 충격을 겪지 않도록 합니다. ATR-8은 고급 웨이퍼 처리 기술을 사용하여 효율적이고 안정적인 웨이퍼 처리 시스템을 제공합니다. 정교 한 "센서 '와" 패스세이프' 로 오염 을 방지 하고 "웨이퍼 '를 잘못 옮기지 못하게 한다. 이 장치는 고도의 반복성과 정확성으로 웨이퍼 (wafer) 를 처리하여 고정밀 처리 요구에 이상적입니다. 또한 이 시스템은 유연성이 매우 뛰어나므로, 사용자가 특정 작업에 대해 빠르고 쉽게 구성할 수 있습니다. ATR8 은 Wafer 를 손쉽게 처리하고 전송할 수 있게 해 주는 Wafer Handler 툴을 손쉽게 설치, 사용할 수 있습니다. 모든 표준 웨이퍼 처리 (standard wafer handling) 요구 사항을 충족하는 안정적이고 정확한 솔루션으로, 프로세스 챔버 사이에 웨이퍼가 안전하고 정확하게 전송됩니다. 고급 자동화 기능과 사용이 간편한 명령 인터페이스를 갖춘 BROOKS AUTOMATION ATR-8 은 모든 작업에 적합한 완벽한 WAR (All-Around Wafer) 처리 솔루션입니다.