판매용 중고 BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 #9019156
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ID: 9019156
Robotic wafer transfer with arm, for parts or repair
15" arm
Z-axis
Software version 1.83.1.
BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 웨이퍼 처리량을 높이고 처리 비용을 최소화하도록 설계된 독특한 처리 솔루션입니다. 이 첨단 웨이퍼 핸들러 (high-tech wafer handler) 는 웨이퍼 처리의 효율성과 정밀도를 높여주는 고유한 기능과 기능으로 설계되었습니다. 고급 모듈 식 AcuTran 7 Wafer Handler 장비는 독립 카세트 로더, 웨이퍼 로봇 암 및 웨이퍼 전송 시스템을 포함한 여러 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 독립적 인 카세트 로더 (cassette loader) 는 다양한 카세트 구성을 빠르고 쉽게 교환 할 수있는 효율적인 설계를 특징으로합니다. 이 빠른 카세트 변경 기능을 통해 운영자는 쉽게 웨이퍼 크기, 구성, 방향을 변경할 수 있습니다. 웨이퍼 로봇 암 (wafer robot arm) 은 스테이션 간 웨이퍼의 원활한 운송을 가능하게하며 정확성과 전반적인 생산 속도를 향상시킵니다. 이 혁신적인 로봇 암 (Robot Arm) 은 매우 정확한 제어 알고리즘을 사용하여 최소한의 슬리피지로 웨이퍼 (Wafer) 를 정확하게 배치하고, 독점 센서 어레이는 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼 위치를 정확하게 추적합니다. 완전한 BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 장치는 매우 효율적인 웨이퍼 전송 기계를 사용하여 프로세스 간 웨이퍼 수송을 신속하게 수행합니다. 고급 트랙 설계 (Advanced track design) 및 최적화된 포트 레이아웃은 로더에서 로봇 암 (robot arm) 으로, 방향이 조정되지 않은 스테이션으로, 즉 웨이퍼가 스테이션에서 스테이션으로 이동할 때 항상 동일한 방향에 있습니다. AcuTran 7 Wafer Handler는 사용 및 유지 관리가 용이하도록 설계되었습니다. 이 툴을 사용하는 방법에 대한 운영자 지침은 디바이스 자체와 온라인 사용자 설명서 (Online User Manual) 를 통해 제공됩니다. 오류 메시지, 자산 진단 (Asset Diagnostics) 및 기타 정보가 운영자에게 명확하게 표시되어, 문제가 발생할 수 있는 문제를 파악하고 해결하는 데 도움이 됩니다. 또한, 모듈식 (modular) 모델의 설계를 통해 기술과 운영 요건에 따라 구성 요소를 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. 요약하면, BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 Wafer Handler는 웨이퍼 처리 및 처리를 위한 독특한 솔루션을 제공합니다. 이 제품은 탁월한 정밀도, 정확도, 처리량을 바탕으로 설계되어 현대 웨이퍼 (Wafer) 프로세싱 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.
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