판매용 중고 BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 #9019132
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BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 오늘날 까다로운 반도체 산업의 요구 사항을 충족하도록 설계된 첨단 고성능 웨이퍼 처리 로봇입니다. AcuTran 7은 웨이퍼 처리 어플리케이션에서 뛰어난 성능, 정확성, 안정성 및 유연성을 제공합니다. BROOKS AUTOMATION AcuTran 7은 AcuTrack 컨트롤러, 로봇 암, XYZ 축 단계 및 로봇 암 동작 제어 장치로 구성됩니다. AcuTrack 컨트롤러는 AcuTran 7 장비의 기본 제어 장치입니다. 실시간 멀티태스킹 운영 체제, 고속 통신 포트, 강력한 사용자 인터페이스 등을 갖추고 있습니다. AcuTrack 컨트롤러는 로봇 동작 및 암 동작을 포함하여 전체 BROOKS AUTOMATION AcuTran 7 장치를 구성 및 제어하는 데 사용할 수 있습니다. 로봇 암은 웨이퍼 처리 응용 프로그램에서 최대 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. pick-and-place 작업, 웨이퍼 검사, 측정, 정렬 및 테스트, 기타 여러 작업을 수행 할 수 있습니다. 로봇 암은 고정밀 브러시리스 (brushless) AC 서보 모터로 구동되며 고급 벡터 모터 컨트롤러로 구동됩니다. XYZ축 단계는 SEMI 표준을 준수하며 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 픽앤 플레이스, 정렬 및 테스트 작업을 위한 고정밀 동작 제어가 가능합니다. XYZ 축 단계는 고해상도 인코더로 구동되며 브러시리스 (brushless) DC 모터 컨트롤러로 구동됩니다. 로봇 암 동작 제어 장치 (robot arm motion control unit) 는 모든 로봇 암 동작을 제어하고 웨이퍼 잘못 정렬을 보상합니다. 멀티 모드 서보 루프 제어기 (multi-mode servo loop control machine) 를 갖추고 있으며 보다 부드럽고 정확한 로봇 이동을 위해 내장 믹서 회로가 장착되어 있습니다. 전반적으로 AcuTran 7 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 매우 안정적이고 견고한 도구로서, 정확하고 정확한 광범위한 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 처리 할 수 있습니다. 고급 제어 기술, 고급 제조 프로세스 (Advanced Fabrication Process) 및 다중 모드 서보 루프 제어 자산 (Multi-Mode Servo Loop Control Asset) 을 통해 가장 까다로운 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION AcuTran 7은 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 솔루션으로, 탁월한 ROI (투자 수익) 효과를 제공합니다.
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