판매용 중고 BROOKS AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293 #50321

BROOKS AUTOMATION ABM-405-1-S-CE-S293은 반도체 제작을위한 완전 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 그것 은 "카세트 '에서" 와퍼' "보우터 '운반 대 에 이르는" 웨이퍼' 를 정확 하게 처리 하고 옮기고 정렬 하도록 설계 되었다. 이 웨이퍼 핸들러에는 2 개의 자동 웨이퍼 트랜스퍼 암 (wafer transfer arm) 이 장착되어 대량 적재 가능 입력 카세트에서 보트 캐리어로 웨이퍼를 운송합니다. 웨이퍼 핸들러는 3 축 포지셔닝 시스템을 사용하며, 이 시스템은 서브미크론 정확도에 따라 정확하고 안정적인 웨이퍼 정렬을 제공합니다. 시력 기반 정렬 및 품질 보증 시스템 (Quality Assurance System) 이 내장되어 있어, 잘못된 정렬 오류를 감지하고 수정하고, 웨이퍼의 균열, 칩, 기타 결함을 감지할 수 있습니다. 비전 시스템은 고해상도 컬러 카메라와 LED (LED) 표시등을 활용하여 각 처리 전후에 웨이퍼를 검사합니다. 사용자에게 친숙한 터치스크린 디스플레이를 사용하면 웨이퍼 핸들러를 직관적으로 제어, 모니터링, 문제 해결할 수 있습니다. 또한 다양한 프로세스 매개변수와 설정을 제공하여 사용자 지정 웨이퍼 (wafer) 정렬 및 처리를 지원합니다. "웨이퍼 핸들러 '는 안전 하고 안전 한 작동 을 보장 하기 위하여 지속적 인" 하드웨어' 와 이중화 된 보호 "하드웨어 '와 같은 안전 기능 으로 만들어졌다. ABM-405-1-S-CE-S293은 상용 외부 구성 요소 및 독점 소프트웨어를 사용하여 제작되었으며, 탁월한 안정성, 확장성 및 신뢰성을 제공합니다. 온도 조절 환경 (-15 ° C ~ 50 ° C) 에서 웨이퍼를 처리하고 전송하도록 설계되어 다양한 프로세스에 적합합니다. 또한 CE Standard 를 준수하며 Ethernet 및 CANBus 와 같은 산업용 통신 프로토콜을 지원합니다. 이 웨이퍼 핸들러는 2년 무상수리 기간 동안 제공되며, 반도체 제작에서 자동화된 웨이퍼 (wafer) 처리를 위한 이상적인 비용 효율적이고 신뢰할 수 있는 솔루션입니다.