판매용 중고 BROOKS AUTOMATİON 9704-0955 #9356060
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ID: 9356060
Robot
001-8672-01 Controller transfer module
Vacuum transfer module
THERMIONICS LABORATORY 569310 High vacuum wafer transfer module chamber robot interface
Robot interface
High vacuum interface
Isolation valve
View port
PFB G-2.0x10.2 PA
MAC 45A-AA2-DDAA-1CA Valve
Does not include stand.
BROOKS AUTOMITAL9704-0955는 반도체 챔버 응용 분야에 사용하도록 특별히 설계된 표준 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 확장성을 위해 설계된 모듈식 플랫폼 (Modular Platform) 을 기반으로 설계되었으며, 사용자가 장비의 특정 크기, 용량, 처리량 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 시스템에는 최첨단 사용자 직관적인 웨이퍼 인터페이스 (wafer interface), 초저전력 정밀 로봇 피커, 고급 소프트웨어 제어 (software control) 가 장착되어 있어 쉽고 정밀한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 핸들러는 다양한 정렬 (alignment) 및 모서리 프로파일 (edge-profile) 센서를 사용하여 정확한 웨이퍼 방향을 보장하도록 구성할 수도 있습니다. 9704-0955 장치는 안전 연동기 (Safety Interlock Machine) 와 촉각 모션 센서 (Tactile Motion Sensor) 와 같은 다양한 기능을 사용하여 안전성을 염두에 두고 설계되었습니다. 이 도구는 또한 필요한 유지 관리 양을 최소화하도록 설계되었습니다. 로봇 공학과 피더는 최소 마모와 눈물 (tear) 을 위해 설계되었으며, 모든 움직이는 구성 요소는 낮은 점도, 독성이 없는 오일을 사용하여 윤활유됩니다. 이 자산은 또한 다양한 소프트웨어 제어 패드 리프터 (pad lifter) 를 사용하여 최적의 오염 방지 및 웨이퍼 보호를 보장합니다. BROOKS AUTOMITAL9704-0955 모델은 장기 서비스 약정으로 뒷받침되며, 교육, 유지 보수, 현장 서비스 등 다양한 서비스/지원 옵션이 제공됩니다. 이 장치는 수동 또는 자동 배치 샘플링, 카세트/티어드 로드/언로드, 8 "- 18" 웨이퍼 크기 지원, LCB/LTO/NR 호환성, 수동 또는 자동 엔드 이펙터 교환 등 다양한 방식으로 구성할 수 있습니다. 9704-0955 (9704-0955) 는 반도체 챔버 (chamber) 어플리케이션을 위한 유연하고 신뢰할 수 있는 선택으로서, 사용자는 최적의 성능과 최소한의 유지 관리 요구 사항을 유지하면서 장비를 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 웨이퍼 처리기 (Wafer Handler) 는 강력한 서비스 약정 (Service Commited) 에 의해 뒷받침되며, 고객은 현재의 요구에 유연하게 집중할 수 있으며, 시스템의 장기적인 성능에 대한 자신감을 가지고 있습니다.
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