판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 6-0000-2562-PCR #9112498

BROOKS AUTOMATION 6-0000-2562-PCR은 반도체 제조와 같은 산업에 사용되는 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 현재 시판되고 있는 가장 발전된 웨이퍼 처리 장비이며, 직경 200mm 또는 300mm 중 최대 8 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 (Wafer) 가중치 감지 장치 (Weight Detection Unit) 및 처리할 웨이퍼 크기에 따라 조정되는 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 과 같은 기능을 통해 웨이퍼 처리 작업의 정확성과 반복성을 용이하게하도록 설계되었습니다. 6-0000-2562-PCR의 독점 원심 분리기 (centrifuge) 기술은 오염 위험을 줄이기 위해 설계된 반면, 자동 클램핑 기는 표준 STD 및 기타 다양한 카세트 설계를 제공합니다. 또한 BROOKS AUTOMATION 6-0000-2562-PCR에는 최소 손상 또는 오염으로 웨이퍼를 처리 할 수있는 고급 기능이 있습니다. 고급 동적 웨이퍼 척 (Dynamic Wafer chuck) 및 온도 제어 도구 (Temperature Control Tool) 는 웨이퍼 처리 작업에 균일 한 온도를 제공하여 웨이퍼에 뒤틀리거나 갈라진 모서리가 없도록 합니다. 온도 조절 에셋에는 조정 가능한 온도 설정 (adjustable temperature settings) 이 있으며, 이를 통해 연산자는 처리 중인 재료 유형에 따라 온도를 사용자정의할 수 있습니다. 6-0000-2562-PCR은 비상 정지 버튼, 인터 록, 자동 청소 모델 등 다양한 안전 기능으로도 설계되었습니다. 청소 장비는 초음파 및/또는 화학제를 사용하여 웨이퍼 척 (wafer chuck) 과 전송 챔버 (transfer chamber) 내부를 청소하여 외부 소스에서 잠재적 인 오염을 줄입니다. 또한, 이 시스템은 챔버의 온도, 압력, 가스 유량을 측정하는 포괄적 인 환경 모니터링 장치 (environmental monitoring unit) 를 제공합니다. 요약하면, BROOKS AUTOMATION 6-0000-2562-PCR은 오염 위험을 최소화하면서 반복 가능하고 정확한 처리 작업을 제공 할 수있는 고급 웨이퍼 처리 기계입니다. 이 도구 는 종합 "안전 '과" 클리닝' 기능 을 이용 하여 반도체 산업 을 중단 없이 운영 할 수 있다.