판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 300 #9401939

브룩스 자동화 300 (BROOKS AUTOMATION 300) 은 마이크로 일렉트로닉스 제조 공정의 효율성과 정확성을 향상시키기 위해 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 실리콘, 세라믹, GaAs 등 다양한 웨이퍼를 여러 기하학 및 최대 400mm 직경의 크기로 처리합니다. 300 개는 프로그램 가능한 웨이퍼 측정 장비와 고해상도 비전 시스템 (Vision System) 을 갖추고 있어 장치 내의 웨이퍼를 정확하게 포지셔닝하고 처리할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION 300은 모듈식 설계로, 리소그래피, 열 처리, 증착, etch, 도량형 등 다양한 반도체 제조 공정의 요구를 충족할 수 있습니다. 높은 정확도와 안정성 (stability) 을 통해 장치의 중요한 매개변수를 정밀하게 제어할 수 있으며, 변이가 거의없는 정밀한 레이어를 생성할 수 있습니다. 모듈성과 유연성은 웨이퍼 정리, 웨이퍼 투 웨이퍼 전송, 웨이퍼-온도 제어 카세트 및 온도 제어 카세트-카세트 작업에 이상적입니다. 300은 수동 (manual) 또는 자동 (automatic) 모드로 실행할 수 있으며, 사용자는 사용자에게 친숙한 컴퓨터 인터페이스를 통해 시스템을 제어합니다. 이 툴에는 원격 모니터링 및 관리를 위한 통합 웹 서버도 있습니다. 또한, 자산 손실이 감지되면 비상 정지 (Emergency-Stop) 기능을 포함하여 인원과 장비를 보호하기 위해 여러 안전 (Safety) 기능이 장착되어 있습니다. BROOKS AUTOMATION 300은 다양한 wafer 준비 도구, 추가 탐지기, 3D 비전 시스템, 로봇 암 등 다양한 하드웨어 및 소프트웨어 (옵션) 와 통합하여 기능을 향상시킬 수 있습니다. 이 모델은 또한 데이터 전송 및 유지 관리를 위해 LAN (Local Area Network) 에 연결할 수 있는 기능과 품질 관리/모니터링을 위해 외부 시스템과 상호 작용할 수 있는 기능도 갖추고 있습니다. 300 (300) 은 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리를 위한 효과적인 솔루션으로, 반도체 제조의 생산성 및 성능 향상을 위해 설계되었습니다. 모듈식 설계와 사용자 친화적 인 컴퓨터 인터페이스 (computer interface) 를 통해 장치 매개변수를 정확하게 제어하고 하드웨어와 소프트웨어를 유연하게 통합할 수 있습니다. 또한, 인력과 장비를 보호하기 위해 다양한 안전 기능을 제공합니다. 따라서 BROOKS AUTOMATION 300은 마이크로 일렉트로닉스 산업의 제조 효율성과 정확성을 높이는 효과적이고 강력한 솔루션입니다.