판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 201600-91-0001 #293664131

BROOKS AUTOMATION 201600-91-0001은 다양한 웨이퍼 제작 프로세스에 사용되는 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 다양한 웨이퍼를 처리하기 위한 효율성과 정확성을 최적화하는 모듈식 (modular) 디자인이 특징입니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 단일 웨이퍼 무접촉 전송 메커니즘이 포함되어 있어 직접 접촉하지 않고 최대 7 인치 직경 웨이퍼의 안정적이고 정확한 전송이 가능합니다. 통합 웨이퍼 (wafer) 처리 베이는 다양한 웨이퍼 크기에 더 큰 용량을 제공합니다. 이 장비는 핸들러 (handler) 의 구성을 변경할 필요 없이 크기와 두께가 다른 반도체 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 통합 비전 시스템 (Integrated Vision System) 은 각 웨이퍼가 프로세스 내에서 정확하게 설명되는지 확인하는 반면, 고급 비전 및 정렬 장치 (Alignment Unit) 는 와퍼를 단단한 공차로 적절한 슬롯이나 실린더에 정확하게 일치시킵니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 조정 가능한 수직 높이 머신 (vertical height machine) 도 포함되어 있으므로 다양한 두께 웨이퍼를 수용하기 위해 웨이퍼 처리 베이의 높이를 쉽게 조정할 수 있습니다. 통합 웨이퍼 처리 베이는 KLA-Tencor 웨이퍼 매핑 공기 베어링 스테이지, Fasson 인덱서 모터, Stratex 웨이퍼 척, Tronitex 웨이퍼 안정화 장치, Singorama 웨이퍼 정렬 및 구성 요소 정렬 등 다양한 프로세스 관련 구성 요소를 제공합니다. 오류 없음 작동을 보장합니다. 통합 와퍼 처리 베이 (All-in-one wafer handling bay) 설계를 통해 핸들러는 한 번에 최대 24 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 웨이퍼 처리 프로세스의 편리성과 정확성이 더욱 향상되었습니다. 또한 사용자 지정 가능한 프로그램을 제공하여 사용자가 통합 컨트롤러 내에 모든 프로그램을 선택, 실행, 디버그, 저장할 수 있으므로 PC 기반 프로그래밍이 필요하지 않습니다. 사용자 인터페이스는 직관적이고 사용하기 쉽고, 핸들러의 동작, 센서 모니터링 (sensor monitoring), 보안 액세스 (secure access) 및 통계 프로세스 제어를 제어하는 다양한 옵션을 제공합니다. 내구성 있는 "디자인 '은 또한 내식성 및 온도 내성성 으로, 여러 가지 혹독 한 상태 에서 믿을 만한 작동 을 보장 한다. 전반적으로, 201600-91-0001은 다양한 반도체 제작 프로세스에 대한 고급 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 모듈식 설계는 효율성과 정확성을 향상시키는 한편, 많은 프로세스 구성 요소와 사용자 정의 가능한 프로그램 옵션을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 핸들러의 동작, 모니터 센서, 모니터 프로세스 통계 등을 쉽게 제어할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 안정적이고, 효율적이며, 강력한 웨이퍼 핸들러로, 일관성 있고 고품질 결과를 제공합니다.