판매용 중고 BROOKS AUTOMATION Lot of (2) Robots #293621700

브룩스 오토메이션 195402 (BROOKS AUTOMATION 195402) 는 다양한 웨이퍼 처리 작업을 수행하기 위해 동력 보병이 장착 된 웨이퍼 핸들러입니다. 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼-웨이퍼 접촉이 필요한 경우 웨이퍼 (wafer-to-wafer) 를 조작하고 균일 한 웨이퍼 간격을 만들도록 설계되었습니다. 최대 4축 동작 및 자동 작업이 가능합니다. 196402 는 완전자동 (fully-automated) 장치로, 외부 운영자 없이 높은 정도의 정확도로 웨이퍼를 전송하고 정렬할 수 있습니다. 웨이퍼는 입/출력 포트를 통해 로드되고 언로드되며, 진공 흡입과 함께 안전하게 보관됩니다. 진공 유도 로봇 암은 전동 간트리 (gantry) 를 사용하여 웨이퍼를 원하는 목적지로 이동합니다. 동작 축은 개별적으로 조정할 수 있으며 웨이퍼 방향은 적응할 수 있습니다. 195402는 직경 200mm ~ 300mm의 다양한 웨이퍼 크기와 기판을 지원할 수 있습니다. 또한 작고 큰 기판뿐만 아니라, 복잡하고 단순한 모양을 지원하도록 설계되었습니다. 로봇 암의 미세 정밀도 (micro-fine accuracy) 와 핸들러의 작은 피쳐 크기 (small feature size) 는 정밀 응용 분야에 적합합니다. 예를 들어, 196402는 웨이퍼 플립 (wafer flipping) 및 포지셔닝 (positioning) 과 챔버와 시스템 간의 복잡한 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 에 사용될 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 기존 시스템과 호환성이 있으며, 여러 통신 프로토콜이 장착되어 있습니다. 독립 실행형 시스템으로 운영되거나, 더 큰 자동화 네트워크의 일부로 통합될 수 있습니다. 또한, 자동화된 작업을 통해 신속하고 동시에 작업을 수행할 수 있으므로 처리량이 증가합니다. BROOKS AUTOMATION 195402 웨이퍼 핸들러는 효율적이고 신뢰할 수있는 장치로, 조정이 가능하고 유연합니다. 고급 자동화 (automation) 수준을 다양한 시스템과 프로세스에 통합할 수 있습니다. 다재다능한 디자인과 미세 정밀도를 통해 다양한 웨이퍼 처리 (wafer handling) 요구 사항을 충족할 수 있습니다.