판매용 중고 BROOKS AUTOMATİON 162386 #9268591

BROOKS AUTOMITALI162386 Wafer Handler는 반도체 웨이퍼 처리에 사용되는 정확하고 신뢰할 수있는 자동화 도구입니다. 이 장치는 여러 크기, 모양, 형식을 정확하게 처리하여 웨이퍼 (wafer) 의 전송 및 검색을 자동화할 수 있도록 설계되었습니다. 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 웨이퍼를 여러 운영 라인 또는 스테이지로 손쉽게 선택, 포지셔닝, 전송할 수 있습니다. 162386 가운데 에는 여러 개 의 "웨이퍼 '형식 을 처리 할 수 있을 뿐 아니라 원하는 방향 으로 회전 할 수 있는 회전" 로봇' 이 있다. 또한 로봇 암에 4 개의 전용 수송 포켓 (wafer presence 및 thickness) 용 센서가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 크기나 형태에 관계 없이 정확한 위치 지정 (positioning) 및 와퍼 (wafer) 를 입력에서 출력으로 원활하게 전송할 수 있습니다. 이 장치에는 수동 로딩 및 언로드가 필요하지 않도록 하는 통합형 Off-axis End Effector도 있습니다. "로봇 '은" 로봇' 동작 과 정렬 을 위한 명백 한 명령 을 보내는 시력 "시스템 '을 갖추고 있다. 즉, 작동 중에 로봇에 대한 피드백을 제공하는 제어 시스템과 통합됩니다. 직관적인 터치 패널은 프로세스를 쉽게 모니터링합니다. BROOKS AUTOMITALI162386은 또한 운송 및 취급 중 향상된 웨이퍼 보호를 자랑합니다. 개별 태블릿 수준의 압력을 모니터링하는 내장형 진공 탐지 시스템 (Integrated Vacuum Detection System) 으로 설계되어, 고속 컨베이어와 웨이퍼 전송이 가능합니다. 또한 우월한 웨이퍼 청결을 제공하고 오염 물질을 제거 할 수있는 저압 공기제트 노즐 청소 기술도 갖추고 있습니다. 자동 처리 기능 외에도 162386 은 고급 모니터링 및 제어 옵션을 제공합니다. 다양한 입출력 인터페이스 (I/O interface) 를 통해 다양한 자동화 시스템에 연결할 수 있습니다. 이를 통해, 이 장치는 성능 및 제어 향상을 위해 다양한 산업 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다. 결론적으로, BROOKS AUTOMITAL162386 Wafer Handler는 정확한 처리, 직관적인 사용자 인터페이스, 고급 모니터링 및 제어 기능을 결합하여 반도체 웨이퍼 처리를 위한 포괄적인 솔루션을 제공하는 효율적인 자동화 도구입니다. 안정적이고 사용이 간편한 설계로 다양한 운영 단계를 자동화할 수 있는 최적의 선택입니다 (영문).