판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 162386 #293665805

브룩스 자동화 162386 (BROOKS AUTOMATION 162386) 은 웨이퍼 구성 라인의 처리 단계 간에 웨이퍼를 안전하게 전송하도록 설계된 웨이퍼 핸들러 모듈입니다. 이 모듈은 마이크로 스테핑 모터, 옵티컬 인코더, 드라이브 회로 (Drive Circuitry) 등 다양한 기술을 활용하여 효율성과 정확도를 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 모터 구동 축 및 컨베이어를 사용하여 웨이퍼와 캐리어를 처리 챔버 안팎으로, 바깥쪽으로 이동합니다. 로봇은 컴퓨터 기반 제어 장비의 명령을 받아들이는 제어판 (control panel) 을 통해 제어됩니다. 이 제어 시스템은 용량 (dose) 또는 열 균일 제어 (thermal uniformity control) 와 같은 특정 작업 자동화를 위해 프로그래밍 될 수 있습니다. 광학 인코더는 이동 부품의 속도, 방향, 위치를 모니터링하는 데 사용됩니다. 마이크로 스테핑 모터 (micro-stepping motor) 는 정확한 동작 및 위치를 제공하는 데 사용되며, 로봇이 처리 챔버에 재료를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 드라이브 회로 (Drive Circuitry) 는 모터의 전류 (Current) 와 전압 (Voltage) 을 모니터링하고 안전하고 안정적인 방법으로 로봇을 작동시킬 수 있도록 합니다. 162386 은 공장 내 의 다른 "로봇 '들 과" 웨이퍼' 하중 자물쇠 및 "로봇 '수송 장치 와 같은 여러 가지 공정 제어 장치 를 이용 할 수 있다. WAR (Wafer Handler) 는 내장된 통신 기능으로, 분석 및 최적화를 위한 데이터를 수집하기 위해 다른 시스템에 연결할 수 있습니다. 그 에 더하여, "로봇 '을 사용 하여, 인간 이 폐쇄 하거나 다른 방법 으로는 접근 할 수 없는 처리" 라인' 의 일부 에 접근 할 수 있다. "웨이퍼 핸들러 '는 여러 가지" 웨이퍼' 처리 환경 에서 사용 할 수 있도록 안전 하고 신뢰 할 수 있도록 설계 되었다. 그 구조에는 화학 내성 성분과 위험한 조건을 감지하기위한 다양한 센서 (sensor) 및 경보 (alarm) 가 포함됩니다. 로봇의 안전한 작동은 내장 안전 기능으로 보장됩니다. 브룩스 자동화 162386 웨이퍼 핸들러 (BROOKS AUTOMATION 162386 wafer handler) 는 안전하고 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 설계된 매우 안정적이고 다양한 기계입니다. 그것 은 "로봇 '이나 생산" 로봇' 과 여러 가지 재료 와 "인터페이스 '를 처리 할 수 있게 해 준다. 로봇의 디자인은 안전성, 신뢰성, 정확성을 보장하기 위해 최신 자동화 기술을 통합했습니다.