판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 152465 #9381624
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BROOKS AUTOMATION 152465 웨이퍼 핸들러는 소형 반도체 장치의 고정밀도, 빠른 이동을 위해 설계된 완전 자동화 된 로봇 재료 처리 장치입니다. 16 슬롯 인덱스 버퍼 플레인 내에 최대 2 1/4 인치 직경의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 최대 700 웨이퍼/시의 자동 웨이퍼 전송을위한 통합 솔루션을 제공합니다. 152465 웨이퍼 핸들러에는 다양한 웨이퍼 처리 작업을 제어하고 실행할 수있는 Allen-Bradley SLC-500 Programmable Log Control 프로세서가 장착되어 있습니다. SLC-500 프로세서는 메뉴 기반 메뉴와 함께 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해, 직관적인 프로그래밍 및 작동을 가능하게 합니다. 프로세서에는 내장된 연산자 인터페이스 (operator interface) 가 내장되어 있어 wafer handling 작업을 모니터링하고 다양한 기능을 제어할 수 있습니다. 브룩스 자동화 152465 웨이퍼 핸들러 (BROOKS AUTOMATION 152465 wafer handler) 는 높은 정밀도와 처리량을 통해 한 평면에서 다른 평면으로 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 이동 속도는 400mm/s이며 빠르고 정확한 움직임을 지원합니다. 또한, 웨이퍼 카세트에서 직접 웨이퍼를 따고 배치하여 미립자 오염을 줄이기 위해 설계된 통합 진공 리프트 (vacuum lift) 장비를 갖추고 있습니다. 152465 웨이퍼 핸들러는 에폭시 강화 안전 프레임 (epoxy reforced safety frame), 비상 정지 명령 (emergency stop command) 및 충돌 방지를위한 이중 빔 안전 감지 기술을 포함한 통합 안전 기능으로 설계되었습니다. 과부하 감지 시스템이 내장되어 있어 과부하로 인한 기계적 손상을 방지할 수 있습니다. 이 기계는 CE, cTUVus, UL, RoHS 및 CSA 인증을 받았으며 품질과 신뢰성을 보장합니다. 또한 BROOKS AUTOMATION 152465 웨이퍼 핸들러에는 활성 진동 격리 장치, 수동 비상 차단 스위치 및 소음 감소 장치가 있습니다. 간편한 유지 관리 패널과 모듈식 섀시, 레일 (rail) 도구를 통해 유지 보수가 간편합니다. 또한 프로그램 데이터 저장을 위해 EEPROM 메모리 백업이 있습니다. 전체적으로 152465 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 매우 정밀하고 처리량이 많은 웨이퍼를 전송할 수있는 강력하고 신뢰할 수있는 재료 처리 장치입니다. 반도체 산업을 위한 자동화된 생산 라인에서 자동화된 웨이퍼 (wafer) 전송에 적합한 사용자 친화적이다.
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