판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 143668 #9254402

브룩스 자동화 143668 (BROOKS AUTOMATION 143668) 은 프로세싱 라인을 통해 반도체를 빠르고 효율적으로 이동하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 높은 토크 다중 축 동작을 사용하여 143668 웨이퍼 핸들러는 직경이 최대 6 인치 (150mm) 인 기판을 길고 직선 단면 또는 추가 하드웨어가없는 곡선 주위로 전달 할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION 143668은 또한 3 ° C ~ 40 ° C의 범위를 사용하여 가열 된 웨이퍼 척 또는 냉판의 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장치에는 프로그래머가 다른 워크플로를 구성하고 실행할 수 있도록 프로그래머블 (programmable) 논리 컨트롤러가 기본으로 제공됩니다. 143668에는 3 개의 독립적 인 동작 축과 최대 7 킬로그램의로드 용량이 장착되어 있습니다. 두 개의 수직 축은 웨이퍼 처리 암을 위아래로 이동하고, 세 번째 축은 기판 캐리어 사이에서 움직입니다. 3D 동작을 만들 수있는 다축 장비입니다. 팔의 최대 스트로크는 417mm, 주기 시간은 8 초입니다. BROOKS AUTOMATION 143668 웨이퍼 핸들러는 안전, 배터리 없는 작동, 간편한 통합 및 프로세스 신뢰성을 위해 설계되었습니다. 이 장치에는 쉬운 프로그래밍 및 작동을 위해 Easy EDM 소프트웨어 패키지가 제공됩니다. EDM 소프트웨어를 사용하면 운영자가 개별 프로세스에 대해 고객이 정의한 워크플로를 작성할 수 있습니다. 외부 AC 회선에서 직접 전원을 공급하므로 배터리 교체가 번거로울 필요가 없습니다. 이 장치는 또한 143668 의 성능 및 상태에 대한 실시간 피드백을 제공하는 고급 전자 모니터링 시스템 (Advanced Electronic Monitoring System) 을 갖추고 있습니다. BROOKS AUTOMATION 143668 웨이퍼 핸들러에는 프로세스 효율성과 안정성을 극대화하는 많은 기능이 있습니다. 통합 haptic feedback 장치는 웨이퍼 정렬과 관련된 EDM 소프트웨어에 실시간 정보를 제공합니다. 이렇게 하면, 연산자가 기판의 위치를 정확하게 제어할 수 있고, 잘못된 정렬 관련 결함을 최소화할 수 있습니다. 또한, 합틱 피드백 머신 (haptic feedback machine) 은 웨이퍼가 스테이션에서 스테이션으로 이동하면서 진행 상황에 대한 정보를 제공할 수 있습니다. 143668은 모든 프로세스 요구에 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 처리기입니다. 높은 토크 다중 축 동작을 통해 곡선 또는 직선 경로를 따라 효율적인 기판 이동이 가능합니다. Easy EDM 소프트웨어 패키지와 정밀 웨이퍼 정렬을 위한 haptic feedback 툴이 함께 제공됩니다. 전원 공급 장치 (Power) 는 외부 AC 회선을 직접 구성하여 번거로운 배터리 교체가 필요하지 않습니다. 이 장치에는 다양한 온도 조절 옵션 (temperature control options) 이 포함되어 있으므로 다양한 온도에 적합합니다. 기능과 기능을 갖춘 BROOKS AUTOMATION 143668 웨이퍼 핸들러는 모든 기판 프로세스에 이상적인 선택입니다.