판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 143668 #9254132

브룩스 자동화 143668 (BROOKS AUTOMATION 143668) 은 프로세스 및 스토리지 애플리케이션에서 와퍼를 정확하고 정확하게 처리 및 처리하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 구성 가능한 수 (옵션) 의 구성 요소와 함께 높은 처리량을 제공합니다. 143668 웨이퍼 핸들러는 포트 로드 및 포트 언로드 구성을 수행할 수 있습니다. 빠른 웨이퍼 로딩을 위한 특정 보기 및 로드 선택 (load select) 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 통합 프로세스 제어 장비 (Integrated Process Control Equipment) 가 장착되어 있으며, 모든 자동화 프로세스에 대해 단일 운영자 제어 지점이 있습니다. 이 시스템에는 웨이퍼 이동 (wafer movement) 및 상태 이벤트 확인 및 추적을 위한 강력한 데이터 로깅 장치도 포함되어 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 와퍼를 안전하고 안정적으로 움직이도록 설계된 중량 운송 메커니즘이 장착되어 있습니다. 거기 에는 통합 "로봇 '암 이 포함 되어 있는데, 이것 은 기계 전체 의 지정 된 위치 에" 웨이퍼' 를 집어 넣을 수 있다. 통합 컨베이어 머신 (Conveyor Machine) 은 최소한의 환경 노출로 웨이퍼를 지점에서 지점으로 이동하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 여러 프로세스 단계를 수행할 수 있으며 포토 esist 코팅 및 스핀 코팅에 적합합니다. 프로세스 일관성을 보장하기 위해 온도, 압력, 기타 조건을 감지하는 다양한 센서가 장착되어 있습니다. 이 장치는 또한 통합 공기 제거 도구를 통해 입자 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. BROOKS AUTOMATION 143668 웨이퍼 핸들러는 최적의 성능, 안정성 및 안전을 위해 설계되었습니다. 또한 LCD 터치스크린 인터페이스를 손쉽게 사용할 수 있으며, 이를 통해 운영자가 쉽게 프로세스를 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 웨이퍼 또는 장비 자체의 손상을 방지하기 위해 안전 기능이 내장되어 있습니다. 이 고급 웨이퍼 핸들러는 모든 웨이퍼 처리 및 저장 시설에 적합한 선택 사항입니다. 143668 은 안정적인 성능과 효율적인 작동을 통해 웨이퍼 처리 프로세스 (Wafer Handling Process) 의 정확성과 정확성을 보장합니다.