판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 140392 R #293664130

BROOKS AUTOMATION 140392 R Wafer Handler는 뛰어난 정확도로 웨이퍼를 처리, 전송 및 정렬하는 컴팩트하고 효율적인 자동화 솔루션입니다. 즉, 여러 웨이퍼 캐리어 간에 조작되는 동안 재료가 교차 오염되지 않도록 설계되었습니다. 이 장치는 정확한 웨이퍼 처리를 위해 선형 모터와 인코더를 사용하는 개방형 아키텍처 시스템입니다. 전송 루틴 (transfer-routine) 을 사용하면 다양한 표준 크기와 웨이퍼 두께를 정확하고 손상없이 처리할 수 있습니다. 동작, 속도, 위치를 능동적으로 모니터링하는 정밀 피드백 루프 (precision feedback loop) 를 사용하여 로봇을 제어하여 장치의 움직임을 완벽하게 제어함으로써 시스템의 높은 정확도를 달성할 수 있습니다. 140392 R 웨이퍼 핸들러 (R Wafer Handler) 에는 직관적인 제어판이 장착되어 있어 운영자가 자동화된 프로세스를 쉽게 설정하고 관리할 수 있습니다. 통합 프로세스 모니터링 시스템 (Integrated Process Monitoring System) 을 사용하면 작업을 실시간으로 추적하고 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 복잡한 스텝 웨이퍼 (steped wafer) 와 대형 디스크를 포함한 맞춤형 구성 요소를 처리 할 수 있습니다. 전송 로봇 (Transfer Robot) 은 각 생산 라인의 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있는 유연한 모듈식 (Modular) 구조로 설계되었습니다. 다양한 유형의 웨이퍼 캐리어와 호환되며, 최대 350mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이동 로봇 (Transfer Robot) 은 상하 위치 (Up and Down Position) 또는 나란히 배치되어 로봇의 동작 범위를 최대화하도록 설정할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION 140392 R Wafer Handler의 개방형 아키텍처 설계를 통해 다른 자동화 프로세스 (예: 비전 시스템, 웹 처리기) 와 쉽게 통합할 수 있습니다. 이는 더 많은 생산 라인을 확보하여, 교차 오염과 관련된 위험을 줄이고, 처리량을 증가시킵니다. 또한 전송 (Transfer) 로봇을 손쉽게 프로그래밍하고 사용자 정의할 수 있는 기능으로 운영자는 복잡한 프로그래밍 (Programming) 이나 기계적 조정 (Mechanical Adjustment) 이 필요 없이 프로세스 변화에 쉽게 대응할 수 있습니다. 전체적으로 140392 R 웨이퍼 핸들러 (R Wafer Handler) 는 높은 정확도로 웨이퍼를 처리, 전송 및 정렬하는 데 효율적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 직관적인 제어판, 맞춤형 전송 로봇, 개방형 아키텍처 통합 (Open-Architecture Integration) 기능을 통해 업계 생산에 매우 적합합니다.