판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 138150 #293633715

BROOKS AUTOMATION 138150 웨이퍼 핸들러는 재료 처리 및 생산 작업에 사용하도록 설계된 자동 웨이퍼 정렬 및 처리 도구입니다. 이 웨이퍼 처리 장비는 최대 12 인치 직경의 웨이퍼를 로드, 전송, 정렬, 언로드 및 처리 할 수 있습니다. 138150 은 "와퍼 '를 정렬 하고 처리 할 때 정확 한 정렬 을 할 수 있는 고급 시력" 시스템' 을 갖추고 있다. 브룩스 오토메이션 (BROOKS AUTOMATION) 138150 은 시장에서 가장 효율적이고 안정적인 웨이퍼 처리 시스템 중 하나인 몇 가지 주요 기능을 제공합니다. 이 장치는 웨이퍼 정렬 및 처리 작업을 수행 할 때 정확한 정렬을 보장하기 위해 ± 0.1 mm의 반복 가능한 정확도를 갖습니다. 또한 "웨이퍼 '의 중심 위치 를 ± 0.15" 밀리미터' 로 조정 할 수 있는 자동화 된 "웨이퍼 '중심기 가 추가 된 정확도 와 신뢰성 층 을 갖추고 있다. 높은 처리량을 보장하기 위해 138150은 잘 생각되는 진공 기반 웨이퍼 로딩 도구를 사용합니다. 이 자산은 2 개의 전용 진공 경로 (vacuum path) 를 사용하여 wafer를 모델에 빠르고 정확하게 로드합니다. 또한, 이 장비에는 대용량 로드 잠금 장치 (load lock) 가 있어 여러 웨이퍼를 동시에 빠르고 효율적으로 처리할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION 138150 웨이퍼 처리 시스템에는 고속 선형 액추에이터 (linear actuator) 장치도 포함되어 있어 위치 정밀도 ± 0.5mm로 고속, 정확한 웨이퍼 정렬 및 처리가 가능합니다. 이 선형 작동기 (Linear Actuator Machine) 는 고급 비전 기술로 추가로 활성화되어 138150은 정렬 작업을 수행하기 전에 Wafer Edge Marks 또는 기타 Wafer Specific 표시를 정확하게 읽을 수 있습니다. 또한 BROOKS AUTOMATION 138150 에는 자동화된 프로세스 최적화 및 제어가 가능한 고급 프로세스 제어 툴이 장착되어 있습니다. 이 프로세스 제어 자산을 사용하면 138150이 최소 운영자 개입으로 웨이퍼 처리 작업을 수행 할 수 있습니다. 이 모델은 특정 프로세스 레시피 (recipe) 로 설정할 수도 있으며, 사전 프로그래밍되고, 반복 가능하며, 표준화된 작업을 보다 빠르게 실행하여 다운타임을 최소화하고, 운영을 최적화할 수 있습니다. 브룩스 자동화 138150 웨이퍼 핸들러 (BROOKS AUTOMATION 138150 wafer handler) 는 재료 처리 및 생산 작업에 사용하도록 설계된 매우 효율적이고 안정적인 자동 웨이퍼 정렬 및 처리 장비입니다. 이 시스템에는 고속 선형 액추에이터 장치, 진공 웨이퍼 로딩 장치, 자동 웨이퍼 중심 도구, 고급 비전 에셋, 고급 프로세스 제어 모델 (CPC) 등이 있어 안정적이고 정확한 웨이퍼 처리 작업을 보장합니다. 138150은 최대 12 인치 직경 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 정확도는 ± 0.1 mm입니다. 이 장비는 효율적이고 안정적인 웨이퍼 처리 (wafer handling) 작업이 필요한 모든 재료 처리 또는 생산 작업에 적합한 옵션입니다.