판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 121655 #9232807

BROOKS AUTOMATION 121-655는 효율적인 웨이퍼 운송 및 분배를 위해 설계된 웨이퍼 처리 장비입니다. 한 번에 최대 4 개의 8 인치 웨이퍼를 운송 및 분배하는 데 사용할 수 있습니다. 이 "시스템 '은 주 로 반도체 제작 및 시험 실험실 과 여러 연구소 의 도구 에 사용 된다. 이 장치에는 교환 가능한 모듈이 장착되어 있어 사용자 요구에 따라 사용자 정의가 가능합니다. 포함 된 모듈은 조정 가능한 개방형 로드/언로드 챔버, 웨이퍼 전송 및 래칭, 웨이퍼 스토리지 용량, 정밀 도량형 구성 요소입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 고성능 작동을 위해 여러 개의 공기 베어링 기반 축을 가지며 다양한 웨이퍼 처리 장비와 호환됩니다. 이 기계에는 두 가지 주요 구성 요소, 즉 자동 Open-Load/Unload 챔버와 동작 제어 도구가 있습니다. 전자는 반도체 도구에서 정확한 정확성, 높은 정확성 및 빠른 로딩/언로드를 제공합니다. 또한 작동 전/후 작업 챔버에서 웨이퍼를 정확하게 배치하는 에셋이 포함되어 있습니다. 동작 제어 모델에는 웨이퍼 교환 메커니즘 (wafer-exchange mechanism) 과 다이 포지셔닝 장비 (die-positioning equipment) 가 포함되어 있어 드럼 유형 구성에서 최대 4 개의 8 인치 웨이퍼를 회전하여 로드/언로드 시간을 줄일 수 있습니다. 웨이퍼 처리 시스템은 또한 유연한 진공 웨이퍼 처리 장치 (vacuum wafer handling unit), 온도 조절 기계 (temperature control machine) 및 저접촉 플라즈마 공정을 가능하게하는 기능을 갖추고 있습니다. 이 웨이퍼 처리 도구 (Wafer Handling Tool) 에는 와퍼가 정확하고 정확하게 여러 유형의 도구 간에 전송될 수 있는 고유한 기능이 있습니다. 이를 통해 사용자는 wafer 전송 및 스토리지와 관련된 시간과 에너지 비용을 줄일 수 있습니다. 121-655는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 자산으로, 모든 사용자 요구 사항을 충족합니다. 매우 컴팩트하고 에너지 효율적이며, 최소한의 공간을 사용합니다. 또한, 이 모델은 내구성과 고품질 (HA) 구성 요소와 사용이 간편하고 사용이 간편한 견고한 사용자 친화적인 소프트웨어를 사용하여 제작되었습니다. 이 장비는 최고 품질 (Quality) 및 안전 기준 (Safety Standard) 을 준수하여 제조되었습니다.