판매용 중고 BROOKS AUTOMATİON 101376 #293643069
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BROOKS AUTOMITAL101376 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 제조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 처리하고 전송하도록 설계된 고급 로봇 머신입니다. 통합 스캐너 (Integrated Scanner) 를 사용하여 다양한 크기의 웨이퍼를 로드, 언로드, 이동하고, 검색하고, 식별할 수 있습니다. 또한, 기계는 선택적 온도, 습도, 진공 제어 (vacuum control) 기능을 갖추고 있으므로 필요한 조건과 수준에서 웨이퍼가 유지됩니다. 101376의 중심에는 로봇 암 (robotic arm) 이 있으며, 최대 0.001mm의 정확도로 정확한 움직임을 만들 수 있습니다. 팔은 3 축 관절 트랙을 따라 달리며, 단열재 (insulated metal bed) 는 처리 중 민감한 웨이퍼를 보호하기 위해 필요한 열 절연을 제공합니다. 기계의 추가 기능에는 스테퍼 모터 제어, 비전 처리 및 로봇 압력 제어가 포함됩니다. 시력 "시스템 '은" 웨이퍼' 를 탐지 하고 식별 해 주며, "로봇 '압력 조절 은 여러 무기 와 단계 의 압력 을 조절 하여" 웨이퍼' 를 안전 하고 정확 하게 처리 할 수 있게 한다. BROOKS AUTOMITAL101376은 또한 설정을 유지, 모니터링 및 조정하는 다양한 소프트웨어 기능과 기능을 제공합니다. 사용자 친화적 인터페이스를 통해 직관적인 작동과 제어가 가능하며, 임베디드 이더넷 포트 (Embedded Ethernet Port) 는 컨트롤러에 대한 데이터 수집, 유지 관리 및 문제 해결을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 RS232, Modbus, Ethernet 등 다양한 공통 프로토콜과 호환되며, 기존의 모든 운영 회선 시스템과 쉽게 통합할 수 있습니다. 마지막으로, 101376은 최전방의 안전성으로 설계되었으며, 다양한 포괄적인 안전 기능 및 프로그래밍 가능한 소프트웨어 제한 (Programmable Software Limits) 및 슈라우드 케이지 (Shrouded Cage) 와 같은 기계적 설계를 갖추고 있습니다. 이는 최적의 작업자 안전을 보장하는 한편, 지루한 수동 처리의 필요성을 줄입니다. 이러한 기능을 결합하여 BROOKS AUTOMITAL101376은 생산 라인에서 MEMS 웨이퍼를 처리 및 이동하기에 이상적인 선택입니다.
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