판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 003-9300-78 #9204645

BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 003-9300-78은 웨이퍼 핸들러로, 처리, 테스트 및 도량형 스테이션 사이에서 반도체 기판을 쉽고 효율적으로 이동하도록 설계되었습니다. 선형 베어링 (Linear Bearing), 볼 스크루 (Ball Screw), 회전 및 선형 액추에이터 (Rotary and Linear Actuator) 와 같은 견고한 구성 및 정밀 구성 요소는 부드럽고 안정적인 웨이퍼 처리 성능을 보장합니다. 이 장비에는 인터페이스 논리 (interface logic), 안전 연동 (safety interlock) 및 정밀 동작 제어 (precision motion control) 가 제공되므로 사용자의 기존 운영 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러에는 다양한 기능 및 옵션이 있습니다. 카세트, FOUP 및 FOSB 로드의 로드/언로드 옵션뿐만 아니라 자동, 반자동, 수동 작업이 가능합니다. 인터페이스 로직은 양방향 통신, 시스템 진단, 데이터 로깅, 진공, 블레이드, 냉각, 비전 시스템을 위한 다양한 외부 드라이버를 지원합니다. 웨이퍼 핸들러는 압박 밸브, 안전 인터 록 (safety interlock), 안전 장벽 (safety barrier), 전자 자기 차폐 (electro-magnetic shielding) 와 같은 안전 기능으로 설계되어 장치와 환경을 보호합니다. 웨이퍼 핸들러는 200mm 및 300mm 기판을 포함한 다양한 기판 크기로 작동하도록 설계되었습니다. 로드 용량은 120KG이고 로드 높이 범위는 150mm ~ 1150mm입니다. 이 장치에는 고급 모션 컨트롤 (motion control) 기술이 장착되어 최대 200mm/s의 이동 속도를 허용합니다. 또한 0.008mm에서 반복성으로 고정밀 운동과 정확성을 지원합니다. 이 웨이퍼 핸들러는 브러시리스 (Brushless) 서보 모터, 벨트 드라이브, 고효율 스위칭 조정기 (Switching Regulator) 를 포함한 에너지 효율적인 구성 요소로 설계되어 높은 성능과 에너지 비용 절감을 보장합니다. 이 장치는 장기적인 성능을 위해 설계되었으며, 유지 보수 요구 사항은 최소화됩니다. 모든 장치 (unit) 구성 요소에 대한 지능형 모니터링이 제공됩니다. 즉, 문제가 되기 전에 유지 보수 요구 사항을 파악할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 운영 체제를 제공하여 장치의 설정과 프로그래밍을 단순화합니다. 가속, 감속, 속도, 시작 및 중지 위치, 단계 및 반복 작업 등 다양한 구성 가능 매개변수를 지원합니다. 따라서 사용자의 특정 요구에 맞게 장치를 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로 02110-BA24-AJY1 003-9300-78 웨이퍼 핸들러는 반도체 기판 처리를 자동화하는 훌륭한 장치입니다. 고성능 모션 컨트롤 (Motion Control) 기술, 고급 안전 기능, 장기간 안정성 및 간단한 설치 기능을 통해 모든 자동 제조 환경에 이상적인 솔루션을 선택할 수 있습니다.