판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 002-4037-02 #9204641

BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 002-4037-02는 웨이퍼 레벨 워크플로의 프로세스 및 절차를 간소화하기위한 고급 통합 기능과 강력한 로봇 처리 시스템을 제공하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 핸들러는 소프트웨어 제어 고속 웨이퍼 전송 (fast wafer transfer) 과 웨이퍼 감지 및 인식에 사용되는 정교한 비전 툴로 설계되었습니다. 핸들러는 한 공정 챔버 (process chamber) 에서 다른 공정 챔버로 개별 웨이퍼 또는 여러 웨이퍼의 엔트리, 출구 및 전송을 자동화하도록 설계되었습니다. 핸들러 (Handler) 는 최소한의 처리 능력으로 작동하여 파손 위험을 줄이고 작동 속도를 증가시킵니다. 최대 1.5 킬로그램의 페이로드 (Payload) 기능을 갖춘 이 핸들러는 자동화된 생산 프로세스에 적합한 강력한 도구입니다. 자동 핸들러는 Class cleanroom, Semi-cleanroom 및 Hazardous gas-control 운영 모드를 포함한 여러 환경에서 작동하도록 설계되었습니다. 핸들러에는 직관적 인 사용자 제어를위한 직관적 인 인간-기계 인터페이스가 있습니다. GUI 를 사용하면 시스템의 센서와 최종 이펙터를 쉽게 물리적으로 구성할 수 있습니다. 또한 시스템을 그래픽 또는 테이블 형식으로 실시간으로 시각화할 수 있습니다. 이 핸들러 (Handler) 에는 광범위한 프로세스에 대한 기본 레시피 라이브러리 (BIST) 의 간편한 액세스가 포함되어 있으며, 이는 프로세스 요구의 변화에 따라 지속적으로 개선될 수 있습니다. 02110-BA24-AJY1 002-4037-02 웨이퍼 핸들러에도 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 조정 가능한 안전 펜싱, 광도 센서 및 이중 단계 E-stop이 포함되어 있습니다. 도관 내 입자의 정확한 이동을위한 고급 운동 운동 제어 소프트웨어 (Advanced Kinetic Motion Control Software) 와 프로세스 재료의 원치 않는 오염을 줄이기 위해 전용 웨이퍼 지원 시스템 (Dedicated Wafer Support System) 이 특징입니다. 또한 안전한 작동을 보장하고, 자동 오류 수정 (automatic error correction) 을 통해 기계적 (mechanical) 또는 소프트웨어 장애의 위험을 줄이기 위한 포괄적인 안전 검사 제품군을 제공합니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION 02110-BA24-AJY1 002-4037-02는 웨이퍼 레벨 프로세스 워크플로우를 자동으로 제어할 수있는 다양한 고급 기능을 갖춘 강력한 산업용 웨이퍼 핸들러입니다. 소프트웨어 제어 (Software Control) 기능과 안전 (Safety) 기능을 통해 프로세스 효율성을 극대화하고 민감한 재료 처리와 관련된 위험을 최소화할 수 있습니다.