판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 003-7200-23 #9226630
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ID: 9226630
Backbone platform
BROOKS 003-1600-32 Mag 7 Robot
BROOKS 002-4037-03 Power pack
(2) BROOKS 003-9010-03 VCE 6 Vacuum cassette elevators
(2) VAT 0310X-CA24-AKK3 Rectangular gate valves
BROOKS Pre-aligner
BROOKS Mag 7 arm set
BROOKS 002-7090-04 Aquatran wafer handling robot
BROOKS 101374 Robot controller
(2) BROOKS 002-7200-21 Load ports.
BROOKS AUTOMATION 003-7200-23은 반도체 업계에서 정확하고 안정적인 웨이퍼 처리 및 포지셔닝을 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 브룩스 자동화 (BROOKS AUTOMATION) 와퍼 핸들러 제품군의 최신 모델이며 웨이퍼 잡기 및 배치에 대한 탁월한 정확도 수준을 제공합니다. 이 장비는 통합 듀얼 축 서보 모터 (servomotor) 에 의해 구동되며, 웨이퍼 핸들러 내에서 우수하고, 정확하며, 신뢰할 수있는 모션 기능을 보장합니다. 이 서보 모터는 웨이퍼 배치의 경우 X, Y, Z 축, 웨이퍼 크기 선택의 경우 2 축, 정렬의 경우 기울기 및 회전의 최대 5 축의 동작을 지원할 수 있습니다. 내장형 PID 모션 컨트롤러는 부드럽고 실시간 모션 궤적을 제공하며, 내장형 위치 인코더는 위치 피드백 (position feedback) 을 제공하여 정확하고 안정적인 웨이퍼 위치를 제공합니다. 또한 시력 "시스템 '이 통합 되어 배치 를 위한" 웨이퍼' 를 정확 하고 정확 하게 정렬 할 수 있다. 이 장치는 매우 효율적이고 비용 효율적이도록 설계되었습니다. Wafer 를 효율적으로 처리하여 처리량을 극대화하는 한편, 새 Wafer 를 언로드하고 로드할 수 있는 다운타임을 최소화합니다. 또한 선택적 전송 메커니즘을 통합하여 웨이퍼를 빠르고 쉽게 로드/언로드할 수 있습니다. 직관적이고 사용자에게 친숙한 터치스크린 디스플레이는 머신 설정 (Machine Setup) 과 작동 (Operation) 을 바람직하게 만들고 모듈식 설계는 업그레이드 가능하고 유연한 구성을 제공합니다. 이 기계는 또한 견고성과 수명을 위해 설계되었으며, 장기적으로 정확하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 (wafer) 처리를 제공합니다. 이 도구는 최고의 작동 상태를 위해 설계되었으며, 통합 환경 관리 (Environmental Control) 자산을 갖추고 있습니다. 또한, 이 모델은 최상위 성능을 보장하기 위해 장비 부품의 주기적 유지 관리 및 보정을 용이하게 하도록 설계되었습니다. 003-7200-23 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 뛰어난 정확성과 신뢰성을 필요로 하는 반도체 제작 어플리케이션에 이상적인 고급적이고, 안정적이며, 효율적인 통합 웨이퍼 처리 시스템입니다.
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