판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 003-5000-11 #9149716

브룩스 자동화 003-5000-11 (BROOKS AUTOMATION 003-5000-11) 은 반도체 웨이퍼의 정확한 취급이 가장 중요한 실험실 및 연구 시설에 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 자동 처리기는 통합 된 핫 엣지 및 냉벽 진공 설계로 200mm ~ 300mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 사용자 친화적 인 터치 스크린 UI에 의해 제어되며 4 축 로봇 암이 장착되어 있습니다. 이 "로봇 '암 은 50" 밀리미터' 의 운동 범위 를 가지고 있으며 최대 25kg 의 재료 를 전달 할 수 있다. 003-5000-11은 저소음 및 안정적인 기판 전송을 위해 모션 센서와 고정밀 선형 모션 스테이지로 제작되었습니다. 선형 모션 스테이지는 가변 속도 제어를 가지며 최대 속도 200rpm (0.1 미크론 이상 해상도) 을 특징으로합니다. 웨이퍼 핸들러에는 정확한 기판 배치를위한 FAPS (Fully Automated Pre-Alignment Stage) 도 있습니다. FAPS는 정확한 정렬을 위해 On-Axis 및 Off-Axis 조명이있는 2 개의 1.8 "CCD 카메라를 사용합니다. 주 웨이퍼 처리 기능 외에도, BROOKS AUTOMATION 003-5000-11은 우발적 인 운영을 방지하기 위해 여러 안전 기능 및 인터 록으로 설계되었습니다. 여기에는 전자기 간섭 (electro-magnetic interference, EMI) 필터 및 수동 비상 정지 버튼과 함께 전처리 및 후처리 부품 및 공구가 통합되어 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러는 반 밀봉 미학 디자인을 통합하여 청소 요구를 최소화하도록 설계되었습니다. 003-5000-11은 에칭, 리소그래피, 다이빙, 웨이퍼 결합과 같은 다양한 처리 기술을 사용하도록 설계되었습니다. 작동 온도 범위는 4-60 ° C, 상대 습도 범위는 30-95% 로, 핸들러를 다양한 환경에서 사용할 수 있습니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION 003-5000-11은 모든 웨이퍼 처리 요구에 적합한 웨이퍼 핸들러입니다. 안전성 (Safety Features) 이 다양하고 정확하며, 연구원과 엔지니어가 정확하고 자신감 있게 업무를 수행 할 수 있습니다. 사용자 지정 기능이 뛰어난 소프트웨어와 통합 터치 스크린 제어 기능을 갖춘 003-5000-11 (003-5000-11) 은 자동화된 웨이퍼 처리를 위한 최적의 선택입니다.