판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-9400-04 #9064599

BROOKS AUTOMATION 002-9400-04 웨이퍼 핸들러는 여러 개의 대용량 웨이퍼를 정확하고 효율적으로 전송하도록 설계된 완전 자동화 웨이퍼 처리 도구입니다. 이 자동 장비는 단일 작업에서 최대 4 개의 6 인치 웨이퍼 (wafer) 를 동시에 전송하여 처리량 및 볼륨 증가를 가능하게 합니다. 002-9400-04 웨이퍼 핸들러에는 카세트와 통합 스피너 사이에서 웨이퍼를 성공적으로 이동할 수있는 정확한 모션 제어를 제공하는 8 스테이션 카세트 셔틀 시스템이 포함됩니다. 이 전송 장치를 사용하면 정확하고 일관된 위치를 지정할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION 002-9400-04에 통합 된 스피너는 로드 및 언로드 작업 중 고정밀 웨이퍼 정렬 및 배치를 위해 설계되었습니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 fiducial 마크에 따라 웨이퍼를 자동으로 정렬할 수 있으며, 정렬 후 와퍼를 정확한 방향으로 자동 전송할 수 있습니다. 002-9400-04는 웨이퍼 처리 프로세스의 무결성을 보호하기 위해 고급 안전 조치를 제공합니다. 스피너 주위에 놓인 라이트 커튼 (light curtain) 은 근처에 들어가는 인원을 감지하고 자동으로 스피너 스토퍼 (spinner stopper) 를 활성화하여 누군가가 웨이퍼 로딩/언로딩 존 (wafer loading/unloading zone) 에 들어가려고 하면 스피너 회전이 중지됩니다. 또한, 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 전/후 웨이퍼에서 외국 입자와 긁힘을 감지 할 수있는 시력 검사기가 포함되어 있습니다. 성능 측면에서 BROOKS AUTOMATION 002-9400-04 웨이퍼 처리기는 다양한 사용자 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 도구는 Wafer 크기, 처리 속도, Operation Time 등의 설정을 사용자 정의할 수 있는 유연성을 제공하여 Wafer 로드/언로드 작업을 빠르고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 다양한 진단 기능과 원격 제어 기능을 제공하여 보다 쉽고 효율적인 자산 운영을 지원합니다. 전반적으로, 002-9400-04 웨이퍼 핸들러는 여러 대용량 웨이퍼를 정확하고 효율적으로 전송하는 자동 모델입니다. 통합 스피너, 전송 장비, 안전 (Safety) 기능, 성능 기능을 통해 대용량 생산을 위해 웨이퍼를 정확하고 안정적으로 처리할 수 있습니다.