판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-8090-05 #293623525

BROOKS AUTOMATION 002-8090-05는 웨이퍼 전송 시 정확성과 정확성을 향상시키기 위해 특별히 설계된 단일 웨이퍼 로봇 핸들러입니다. 최대 80kg의 대용량 페이로드 (Payload) 가 있으며 최대 14fps에서 최대 261 개의 웨이퍼 (Wafer) 를 전송할 수 있으므로 대용량 처리량 애플리케이션에 적합합니다. 로봇 핸들러는 고급 로봇 아키텍처에 의해 지원되며 X, Y, Z 구성과 같은 구성 요소로 구성됩니다. 여기서 X, Y, Z의 선형 축은 수직, 수평을 따라 배치되어 정확한 전송이 가능합니다. 이 고급 포지셔닝 장비는 BROOKS의 자체 웨이퍼 보행 기술로 구동됩니다. 웨이퍼 크기 (wafer size), 기울기 각도 (tilt angle) 및 웨이퍼 각도 매개변수 (wafer angle parameters) 를 사용하여 기판에서 웨이퍼가 향하는 좌표를 계산하고 한 위치에서 다른 위치로 정확하게 제어합니다. 002-8090-05 (002-8090-05) 에는 웨이퍼 (wafer) 가 더 높은 위치 또는 낮은 위치로 구동되는 안정적이고 안전한 웨이퍼 처리를 제공하는 강력한 진공 시스템이 장착되어 있습니다. 이 "시큐어 '진공" 그립' 은 부가적 인 "그리퍼 '장치 의 필요성 을 제거 하여" 웨이퍼' 를 옮기고 오염 을 줄인다. 이 장치는 또한 안전 메커니즘과 짧은 사이클 방지 (short cycle prevention) 를 가지고 있으며, 다운타임을 최소화하고 효율성을 극대화하는 것을 목표로합니다. 모든 안전 (Safety) 기능이 장치에 통합되어 있으며, 조정 가능한 토크 (Torque) 와 속도 (Speed) 와 같은 고객 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 정전기 방전 (electrostatic discharge) 에 대한 보호 기능을 내장하여 고급 구성 환경에 이상적인 솔루션입니다. BROOKS AUTOMATION 002-8090-05 는 또한 자가 진단 툴과 여러 지능형 모듈을 통해 유지 관리 편의성을 향상시키고, 주기 시간, 전송 횟수, 기타 중요한 운영 매개변수 등 진단 정보 및 성능 문제를 추적합니다. 마지막으로, 002-8090-05 는 사용이 간편한 인터페이스와 고급 소프트웨어 (advanced software) 로, 로봇과 관련된 모든 정보와 완벽한 자산에 대한 포괄적이고 직관적인 그래픽 디스플레이 (graphic display) 를 제공하여 고급 사용자 상호 작용 효과적인 제어 및 전체 웨이퍼 관리 인벤토리 제공. 이것은 단일 웨이퍼 처리, 정확성 및 반복 성을 향상시키기 위해 개발되었습니다. 결론적으로, BROOKS AUTOMATION 002-8090-05는 강력하고, 안정적이며, 정확한 단일 웨이퍼 로봇 핸들러로, 최신 제작 환경에 맞는 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 이 제품은 전송 정확도를 높이고 오염을 줄이기 위해 고안되었으며, 대용량 웨이퍼 (wafer) 처리에 이상적인 솔루션입니다.