판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 #293635386
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BROOKS AUTOMATION 002-7800-07은 웨이퍼 처리량, 수율 및 비용 절감을 극대화하기 위해 설계된 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러는 통합 CASSETTE to CASSETTE 장비로, 웨이퍼의 로드 및 언로드를 단순화합니다. 고급 제어 시스템에는 고급 조작기 동작, 웨이퍼 동작 제어, 공구 동작 제어 등의 기능이 있습니다. 핸들러는 150mm, 200mm 및 300mm 웨이퍼를 건네 줄 수있는 카세트 핸들러 (cassette handler) 와 유사한 각도 매거진 스테이션으로 설계되었습니다. 기구, "모우터 '및 전자 장치 의 정교 한 결합 은" 웨이퍼' 를 극히 정밀 하게 조작 한다. 스테퍼 모터 및 광학 인코더로 정확한 정렬을 달성하는 반면, 선형 모터는 추가 동작 제어를 제공합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 자동 진공 척 장치 (vacuum chuck unit) 를 특징으로하며, 여기서 웨이퍼는 진공 척 블레이드에 배치되고 잡지 카세트에 자동으로 로드됩니다. 이것 은 "웨이퍼 '처리 과정 을 훨씬 더 빠르고, 더 효율적 이 되며, 잡지" 카세트' 의 마모 와 눈물 을 줄여 준다. 전체 운송 어셈블리는 마찰 표면의 마모를 줄이기 위해 설계되었습니다. 핸들러는 높은 수준의 추적 가능성을 제공하도록 설계되었습니다. RFID 및 QRC 코드와 고급 데이터 로깅 기능을 모두 제공합니다. 이 머신은 더 높은 수준의 데이터 추적 (data traceability) 기능을 통해 여러 운영 단계에 대한 효율적인 모니터링, 추적, 감사를 가능하게 합니다. 또한 이 도구는 유지 보수 및 서비스가 용이하도록 설계되었습니다. 진단 테스트를 자동으로 실행할 수 있으며, 자세한 오류 진단 기능을 제공합니다. 모든 구성요소는 모듈식이며, 손쉽게 교체할 수 있으므로, 자산을 안정적이고 경제적으로 사용할 수 있습니다. 002-7800-07 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼를 효율적으로 처리하고, 안정적이며 비용 효율적인 방법을 제공합니다. 컴팩트 한 "패키지 '로 고성능 과 지능 을 제공 함 으로써, 이" 웨이퍼 핸들러' 는 반도체 제조업자 들 을 위한 경쟁력 있는 우위 를 조성 한다.
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