판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 #293635384

BROOKS AUTOMATION 002-7800-07은 반도체 제조 시설에서 웨이퍼 처리를 정확하고 효율적으로 관리하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 최첨단 전기 설계를 사용하여 처리 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼를 정확하게 이동 및 정렬합니다. 이 장치는 고속, 고해상도 전기 인터페이스를 갖추고 있으며, 32- 웨이퍼 (wafer) 처리 주기의 모든 단계를 정확하게 제어합니다. 이중 Gantry 설계를 통해 정확한 웨이퍼 처리와 결합 된 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능합니다. 첫 번째 간트리 (gantry) 는 45도 단위로 최대 4 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 접촉없이 두 번째 간트리 (gantry) 로 이동, 정렬 및 전송 할 수 있습니다. 두 번째 개너리에는 16 개의 슬롯이 있으며, 웨이퍼를 적절한 위치로 회전, 정렬 및 전송 할 수 있습니다. 이 설계는 컴팩트하고 효율적인 웨이퍼 처리를 가능하게 합니다. 002-7800-07은 또한 이중 레벨 안전 장비를 제공합니다. 이는 작동 중 인원, 물체 및 웨이퍼 처리 시스템의 안전을 보장합니다. 첫 번째 레벨은 레이저 기반 연동 장치 (Laser-based interlock unit) 로, 열릴 때 기계를 비활성화하고, 두 번째 레벨은 공구 조건을 토액적으로 모니터링하고 결함이 있을 때 장치를 종료합니다. 이 장치는 또한 온도에 민감한 구성 요소를 특징으로하여 다양한 처리 온도를 허용합니다. 웨이퍼 핸들러의 고급 기능에는 통합 웨이퍼 포지셔닝 에셋, 정밀 웨이퍼 로드 인 (load-in) 및 로드 아웃 (load-out) 제어가 포함됩니다. 웨이퍼 위치 모델 (wafer position model) 은 웨이퍼의 위치를 영구적으로 모니터링하며 각 웨이퍼에 대해 매우 정확한 웨이퍼 이동 정보를 정확하게 제공할 수 있습니다. 로드 인 (load-in) 및 로드 아웃 (load-out) 제어는 로드 및 언로드 프로세스 동안 각 웨이퍼의 위치 및 무게를 정확하게 제어합니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 Wafer Handler는 웨이퍼 처리를 위한 매우 효율적이고 정확한 장비로, 반도체 제작의 생산성을 향상시킵니다. 최첨단 전기 설계, 정밀 웨이퍼 처리 기능 및 포괄적인 안전 기능을 갖춘 002-7800-07 (002-7800-07) 은 모든 반도체 제조 시설의 필수 부분입니다.