판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 #293635378

BROOKS AUTOMATION 002-7800-07 웨이퍼 핸들러는 고정밀 웨이퍼 전송, 처리 및 정렬을 위해 설계된 고급 웨이퍼 조작 장비입니다. 그것 은 "로터리 '와 선형" 모오션' 성분 들 로 이루어진 고도 의 정교 한 "시스템 '으로서" 실리콘 웨이퍼' 를 정확 하게 집어 올려 추가 처리 혹은 저장 할 수 있는 정확 한 위치 에 놓는다. 002-7800-07은 최적의 정확성과 반복 성을 위해 설계된 정밀 가공 된 5 축 로봇 엔드 이펙터를 사용합니다. 이 엔드 이펙터는 웨이퍼 인덱싱 용으로 2 개의 선형 전송 단계를 사용하며, 평면 및 방향 제어를 위해 강력한 3 축 로터리 암을 사용합니다. 선형 전송 단계는 X 방향과 Y 방향 모두에서 평면 동작을 생성하고, 회전 팔은 롤 (roll), 피치 (pitch), 요 (yaw) 의 세 축으로 동작을 제공합니다. 이 모든 동작은 서보 모터 제어 (servo motor control) 및 드라이브 장치 (drive unit) 에 의해 관리되며, 이는 섬세한 웨이퍼 처리 및 배치를 극도로 정확하게 유지하는 데 필요한 정확하게 제어되는 동작을 생성합니다. BROOKS AUTOMATION 002-7800-07은 또한 사용자가 선택할 수있는 웨이퍼 클램핑 메커니즘을 통합하여 전송 중에 단일 또는 다중 웨이퍼를 보호할 수 있습니다. 이 견고한 클램프 (clamping) 메커니즘은 전자적으로 조정이 가능하며, 다양한 웨이퍼 크기를 수용하도록 구성할 수 있습니다. "웨이퍼 '사전 정렬 단계도 통합되어" 로봇' 처리 전에 정확한 웨이퍼 위치가 가능하다. 002-7800-07은 통신 및 기계 제어를 위해 여러 외부 인터페이스를 제공합니다. 여기에는 직렬 포트, USB, 이더넷 및 IEEE 488.2 인터페이스 (옵션) 가 포함됩니다. 또한 BROOKS AUTOMATION 002-7800-07은 기본 교습 반복 방법으로 원격으로 작동하거나 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 도구는 로보틱 엔드 이펙터의 위치를 모니터링하여 로터리 인코더 CCD (Rotary Encoder CCD) 측정 에셋과 비전 모델 (Optional Vision Model) 을 통해 최대 정확도를 높일 수 있습니다. 전반적으로 002-7800-07 (002-7800-07) 은 고급 웨이퍼 처리 장비로, 웨이퍼를 조작하고 전송할 때 최고의 정확성과 반복성을 제공합니다. 강력한, 정밀 모션 제어 (precision motion control) 및 외부 인터페이스 기능 덕분에 웨이퍼 (wafer) 제작 과정을 발전시키는 데 귀중한 단계를 제공 할 수 있습니다.