판매용 중고 BROOKS AUTOMATİON 002-7394-01 REV B8 #9292388

BROOKS AUTOMITION002-7394-01 REV B8 웨이퍼 핸들러는 깨끗한 환경에서 대형 웨이퍼를 처리하는 데 사용되는 정밀 로봇 장비입니다. 최대 직경이 200mm 인 와퍼를 안전하고, 부드럽고, 정확하게 처리 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 처리기는 신뢰성이 높으며 견고하고 견고한 기계적 설계와 카세트로드/언로드 기능을 갖추고 있습니다. "로봇 '의 기본 단위 는 2 개 의 커다란 철" 프레임' 과 "웨이퍼 핸들러 '를 안전 하게 장착 할 수 있는 큰 기단 으로 구성 되어 있다. 프레임 디자인에는 최대 5G (5G) 의 동적 진동 분리 (dynamic vbration isolation) 가 포함되어 있어 높은 진동 환경에서 사용할 수 있습니다. 또한, 베이스에는 최적의 입자 제어를 위한 공기 여과 경로가 포함됩니다. 로봇은 위치 정확성을 위해 80V DC 모터 드라이브 시스템 (고해상도 로터리 인코더) 과 쌍을 이룹니다. 이 장치에는 호스트 시스템에 접속하기 위한 유연한 통신 포트가 포함되어 있습니다. "로봇 '의 처리 요소 는 두 개 의 팔 로 구성 되어 있으며, 둘 다 180 도 의 회전 으로 더 넓은" 웨이퍼' 를 덮을 수 있다. 팔 움직임은 공기 실린더, 선형 샤프트 및 납 나사의 조합으로 구동됩니다. 웨이퍼의 부드럽고 안전한 처리를 위해 양쪽 팔에는 LED 기반의 광각 조명 (wide angle lighting) 과 고무 코팅이있는 그립 패드가 장착되어 있습니다. 또한, 로봇에는 와퍼 안전을 보장하기위한 소프트 스톱 (soft stop) 및 과다 여행 보호가 포함됩니다. 로봇에는 또한 두 개의 독립적 인 끝 이펙터 (웨이퍼 그립 용) 와 다른 하나는 회전 테이블 제어 (로터리 테이블 컨트롤) 가 포함됩니다. 웨이퍼 그립 엔드 이펙터 (wafer griping end effector) 에는 컨택트리스 감지 시스템 (contactless sensing system) 과 와퍼를 가장자리를 따라 잡기위한 마이크로 액추에이터가 포함됩니다. 이 그립은 다양한 크기의 웨이퍼를 수용하도록 조정 할 수 있지만, 탄력성 패드 (elastic pad) 는 손해를 방지하기 위해 폼 피팅 (form-fitting) 규정을 제공합니다. 반면에, 회전 테이블 엔드 이펙터는 안전하고 반복 가능한 파악을 위해 부드러운 표면 (smooth surface) 으로 설계되었습니다. 002-7394-01 REV B8 웨이퍼 핸들러는 프로그래밍 가능한 이동 컨트롤러를 통해 여러 단계를 처리 할 수 있습니다. 또한 정렬, 전송, 뒤집기, 뒤집기 등의 일반적인 작업에 대해 미리 정의된 여러 가지 레시피가 포함되어 있습니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스와 직관적인 지침 가이드를 통해 프로그래밍을 단순화하여 효율성을 극대화할 수 있습니다. 이 "로봇 '은 또한 안전 연동" 시스템' 을 갖추고 있어서 작동 자 의 신체적 손상 을 방지 한다. 마지막으로, BROOKS AUTOMITAL002-7394-01 REV B8 웨이퍼 처리기는 제조업체의 고객 만족을 위해 1년 보증이 제공됩니다.