판매용 중고 BROOKS AUTOMATİON 002-7391-47 #293643080
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BROOKS AUTOMITION002-7391-47은 반도체 제조업체에 이상적인 신뢰할 수있는 산업용 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 모듈식 설계를 통해 제조업체가 정확한 요구를 충족하고 다양한 종류의 로봇 암, 보트, 뷰포트를 연결할 수 있도록 장비를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 시스템은 200mm, 300mm, 500mm 등의 모든 종류의 반도체 웨이퍼를 안전하고 안전하게 수용합니다. 또한, 가장 높은 사양을 충족시키기 위해 높은 수준의 입자 제어 및 깨끗함이 특징입니다. 002-7391-47의 핵심은 로봇 암 어셈블리입니다. 이 유연하고 회전식 팔은 정렬과 전송을 웨이퍼하는 정밀 움직임을 제공합니다. 알루미늄 합금 (Aluminum alloy) 으로 만들어졌으며, 높이를 들어 올릴 때 최대 200mm까지 움직일 수 있으며, 소스 포드와 대상 포드 사이의 안정적이고 정확한 웨이퍼 이동이 가능합니다. 이 부대 의 다른 핵심 부분 은 "보우트 '조립 으로, 제조 공정 의 여러 단계 에서" 웨이퍼' 를 운반 하고 저장 하는 데 도움 이 된다. "스테인레스 '강 으로 만든" 보우트' 는 직경 과 두께 가 서로 다른 200 개 의 "웨이퍼 '를 담을 수 있다. "안티 스킵기 (Anti-skip machine) '와 같은 기능으로 결함률이 낮아" 웨이퍼' 가 전송될 때 최소한의 피해를 입을 수 있습니다. 이 보트에는 또한 비활성 대기 생성 모듈 (옵션) 을 사용하여 과열 방지 (overheating) 를 위해 설계된 안전 메커니즘이 내장되어 있습니다. BROOKS AUTOMITION002-7391-47에는 뷰 포트 (viewport) 어셈블리도 있으며, 전체 프로세스 동안 운영자에게 명확한 뷰를 제공하도록 설계되었습니다. 뷰포트의 유리는 방해받지 않으므로 운영자가 방해 없이 웨이퍼 처리를 모니터링할 수 있습니다. 그 위에, 뷰 포트는 개스킷으로 먼지와 습기에 밀봉됩니다. 마지막으로, 002-7391-47은 고급 알루미늄 및 스테인리스 스틸로 구성되어 안정된 성능과 간편한 유지 관리를 보장합니다. 모든 부품은 정밀 설계를 통해 원활한 작동, 높은 반복성, 여러 프로세스에 대한 정확성을 제공합니다. 모듈식 설계를 통해 다운타임을 최소화하면서 쉽게 설치할 수 있습니다. 요약하면, BROOKS AUTOMITAL002-7391-47은 반도체 제조업체에 이상적인 신뢰할 수있는 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 로보틱 암 (All-in-One Robotic Arm), 보트 및 뷰포트 모듈 (Boat and Viewport Module) 을 갖춘 유연성과 속도를 위해 설계되었으며 결함률이 낮음, 건너 뛰기 방지 도구 및 내장 안전 메커니즘과 같은 기능이 추가되었습니다. 고급 (High-Grade) 구성과 모듈식 설계를 통해 빠르고 간편한 설치, 유지 보수, 안정적인 성능을 제공합니다.
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