판매용 중고 BROOKS AUTOMATİON 002-7391-33 #9386169

ID: 9386169
Wafer prealigner.
BROOKS AUTOMITING 002-7391-33 웨이퍼 핸들러는 크기나 모양의 웨이퍼 처리를 자동화하는 데 사용되는 로봇 장치입니다. "와퍼 '의 방향 과 위치 를 안무 무늬 로 정확 하게 제어 할 수 있는 거대 한" 로봇' 암 을 갖추고 있다. 이 암은 우수한 제어 장비를 갖춘 다중 위치 스테핑 모터 (multiposition stepping motor) 에 의해 구동되며 기판에서 웨이퍼를 배치하거나 검색 할 수 있습니다. 이 시스템에는 정확한 포지셔닝을 위해 설계된 아웃라인 감지 기능이있는 고급 비전 유닛 (Advanced Vision Unit) 이 있습니다. 또한 선형 전송 메커니즘 (Linear Transfer Mechanism) 으로 설계되어 정밀 정렬을 보장하면서 안정적인 웨이퍼 전송 및 처리를 보장합니다. 또한 선형 드라이브 (Linear Drive) 를 사용하면 웨이퍼의 간격을 조절하고 줄을 따라 정확한 배치를 유지할 수 있습니다. 이 기계 는 또한 "웨이퍼 '를 둘러싼 환경 의 온도 와 습도 를 정확 히 조절 할 수 있는 온도 와 습도" 센서' 를 갖추고 있다. 온도와 습도가 다양하면 웨이퍼의 손상 위험을 최소화할 수 있다. & # 160; & # 160; 또한이 도구에는 액체를 사용하지 않고 이온 클리닝 웨이퍼를위한 공기 이오나이저가 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '가 불순물 로부터 벗어나 화학 물질 로 인한 손상 으로부터 벗어나게 해준다. 002-7391-33 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 청소실 환경에서 사용하도록 설계되었으며 먼지 덮개를 사용하여 먼지 및 기타 오염 물질로부터 유닛을 보호합니다. 또한 웨이퍼에서 효율적인 칩 및 입자 수집을 위해 복잡하게 설계된 클린 룸 등급 진공 (cleanroom-grade vacuum) 이 제공됩니다. 또한, 에셋은 또한 최적의 효율성과 제어를 위해 수동 (manual) 또는 자동 (automatic) 모드로 작동하도록 설계되었습니다. 결국, BROOKS AUTOMITAL002-7391-33 웨이퍼 핸들러는 모든 크기와 모양의 웨이퍼를 자동으로 처리하도록 설계된 고성능 로봇 장치입니다. 대형 로봇 암, 아웃라인 감지, 온도 및 습도 센서, 공기 이오나이저, 청소실 등급 진공 및 추가 보호를위한 먼지 덮개를 갖춘 고급 비전 (advanced vision) 모델이 장착되어 있습니다. 청소 (cleanroom) 환경에 이상적이며, 수동/자동 모드의 유연성이 극대화되어 최고의 제어 및 효율성을 보장합니다.
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