판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-7200-21 #9169693

BROOKS AUTOMATION 002-7200-21은 반도체 제조 응용 프로그램에서 300mm 직경 웨이퍼를 로드/언로드하도록 설계된 완전 자동화 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 처리 도구 (processing tool) 에 자동으로 웨이퍼를 전송할 수 있는 효율적이고, 안정적이며, 안전한 환경을 제공하기 위해 함께 작동하는 다양한 구성 요소와 기능을 포함합니다. "핸들러 '는" 웨이퍼' 의 표면 에 접촉 하지 않고 완만 하고 보호 의 접촉 을 유지 하면서 "웨이퍼 '를 안전 하게 잡는 독특 한 장치 를 자랑 한다. 그립 메커니즘은 브러시리스 (brushless) DC 모터와 회전 출력 캠을 사용하여 웨이퍼를 위해 2 개의 독립적 인 진공 챔버를 구동합니다. 전동기는 또한 진공이 웨이퍼를 안전하게 유지할 수 있도록 낮은 수준의 진동을 만듭니다. 또한, 진공에는 소프트 스타트 (soft start) 와 가변 가속 및 감속 프로파일이 있으므로 웨이퍼가 안전하게 처리됩니다. 처리기는 또한 처리 전후 웨이퍼를 저장하기위한 온도 조절 웨이퍼 카세트를 특징으로합니다. "카세트 '의 온도 는 최적 의 성능 과" 웨이퍼' 처리 를 보장 하는 고급 열 조절 "시스템 '을 이용 하여 모니터링 하고 유지 한다. 뿐 만 아니라, "카세트 '를 신속 하고 쉽게 교환 하여" 웨이퍼' 를 연속적 으로 처리 할 수 있도록 상당 한 지연 없이 처리 할 수 있다. 전체 시스템은 정교한 제어 소프트웨어로 모니터링됩니다. 자동화 소프트웨어를 통해 운영자는 서보 설정, 열 제어 시스템 매개변수, 웨이퍼 전송 속도 (wafer transport speed) 와 같은 매개변수를 즉석에서 조정할 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어는 핸들러 (handler) 를 원격 모니터링 및 진단하여 최고 수준의 성능과 안정성을 보장합니다. 또한 Asalarm Resolution Logging 및 Self Diagnostics 기능을 통해 모든 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다 (영문). 전반적으로, 002-7200-21은 반도체 처리 작업에 엄청난 수준의 정확성과 편리성을 제공하는 고급 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 이 핸들러 (Handler) 는 다양한 메커니즘과 기술을 통합하여 유지 보수 요구 사항이 최소화되어 안전하고 안전한 웨이퍼 (wafer) 수송을 보장합니다. 결국, 핸들러는 웨이퍼 (Wafer) 제작 프로세스를 간소화하고 최고 수준의 품질과 안정성을 보장하는 데 필수적인 도구입니다.