판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-7200-21 #166859
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ID: 166859
FOUP load port module
Includes:
(1) CD-ROM Manual (PDF Files)
(1) Mounting hardware kit
No Controller Software Needed
Field configurable for 13 or 25-wafer FOUP
Ultra-thin profile
User-configured Light Bar.
BROOKS AUTOMATION 002-7200-21 (BROOKS AUTOMATION 002-7200-21) 은 클린 룸 환경에서 작동하도록 특별히 설계된 고성능 완전 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 즉, 직관적인 설계를 통해 오염 위험을 최소화하면서 빠르고 효율적으로 작동할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러에는 인체 공학적 조작자 인터페이스, 로봇 암, 통합 비전 장비, 고급 모션 컨트롤 (motion control) 이 장착되어 있습니다. 사용자 인터페이스에는 직관적인 레이아웃 (layout) 이 있어 시스템 설정 및 작동에 필요한 시간이 줄어듭니다. 사용자는 장치 상태 (unit status) 에 있는 사용자에게 시각적 피드백을 제공하는 터치스크린 디스플레이 (touchscreen display) 를 제공하여 컴퓨터를 설정하고 구성하는 데 소요되는 시간을 줄입니다. 운영자 인터페이스는 운영자에게 프로세스 시작, 중지, 시스템 구성, 경고 등과 같은 정보를 쉽게 액세스할 수 있도록 합니다. 로봇 암 (robot arm) 은 탄소 섬유로 구성되어 구형 모델보다 유연성과 강도가 높습니다. 이렇게 하면 "로봇 '암 이 한 위치 에서 다른 곳 으로 빠르고 정확 하게" 웨이퍼' 를 옮길 수 있다. 또한 "웨이퍼 '를 떨어뜨리지 않거나 오염 물질 에 너무 가까이 두지 않도록" 센서' 와 보안 "시스템 '을 내장 하였다. 통합 비전 (Integrated Vision) 도구를 사용하면 웨이퍼 핸들러를 사용하여 웨이퍼의 방향을 인식하고 그에 따라 처리할 수 있습니다. 또한 "웨이퍼 '의 결함 이나 이상 을 분별 하여 쉽게 제거 하고 교체 할 수 있다. 고급 동작 제어 (Advanced Motion Control) 기능을 사용하면 더 빠른 처리 시간과 향상된 웨이퍼 처리량을 구현할 수 있습니다. 정밀 알고리즘 (Precision algorithms) 을 에셋에 내장하면 웨이퍼 이동 및 처리 시 기계의 제어와 정확도가 높아지고 웨이퍼 배치 (placement) 와 제거 시 정확도가 향상됩니다. 전반적으로, 002-7200-21은 뛰어난 올인원 웨이퍼 핸들러로, 모델 설정에 소요되는 시간을 줄이고, 처리량을 늘리고, 청소실 환경의 오염 위험을 줄이는 데 도움이 됩니다. 인체공학적 설계, 고급 모션 제어 기능, 통합형 비전 (Integrated Vision), 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 웨이퍼를 쉽고 빠르고 정확하게 처리할 수 있습니다.
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