판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-7090-10 #293623519

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ID: 293623519
Robot.
BROOKS AUTOMATION 002-7090-10은 제조, 조립 및 테스트 단계 사이에 웨이퍼를 안전하게 전송하도록 설계된 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 "시스템 '은" 컴퓨터' 에 의하여 제어 되는 "로봇 '암 으로 구성 되어 있는데, 그것 은 정확 하고 효율적 이고 반복 할 수 있는 방법 으로" 웨이퍼' 를 집어 올리고 움직 이는 데 사용 된다. 로봇 암 (robotic arm) 은 민감한 반도체 제작 프로세스에 필요한 높은 정확성과 반복성을 보장하도록 설계되었습니다. 강성 프레임, 정밀 암 어셈블리, 웨이퍼 홀더, 진공 장치 등 일련의 구성 요소로 구성되어 있습니다. 암 어셈블리에는 3 차원 공간에서 똑똑하고 복잡한 동작을 조정 할 수있는 4 축 전동 동력 컨트롤러 (Motorized Motorized Controller) 가 포함됩니다. 진공기는 웨이퍼 드리프트 (wafer drift) 와 오정을 피하기 위해 웨이퍼에 안정적이고 안전한 그립을 제공합니다. 컴퓨터 제어 로봇 암에는 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있어 사용자가 팔 (arm) 이동을 쉽게 제어하고 개별 절차를 프로그램 할 수 있습니다. 이 도구는 최대 25 개의 다른 레시피를 저장할 수 있으므로 여러 워크플로를 하나의 에셋에 구현할 수 있습니다. 긴급 정지 (emergency stop) 및 리프트 암 안전 기능 (lift arm safety feature) 과 같은 여러 안전 기능도 포함되어 있는데, 로봇이 접촉을 감지하면 작동을 중단합니다. 002-7090-10은 반도체 업계에서 다양한 응용 분야를 보유하고 있으며, 높은 정밀도, 반복성, 유연성이 필수적입니다. 파퍼 (wafer) 제조, 테스트 및 조립 과정, 사진 식자술 및 레이저 마킹 과정에서 사용할 수 있습니다. 또한, 모델을 사용하여 기판 (예: 석영 또는 유리) 을 처리 할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION 002-7090-10은 효율적이고 비용 효율적이며, 섬세하고 비싼 웨이퍼 처리에서 사람의 오류 위험을 줄입니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 쉽게 사용할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 기본 사항 및 마스터 기능을 신속하게 학습할 수 있습니다. 또한, 반도체 제작에서 장비의 다양한 응용 프로그램 (application) 은 완전한 생산 라인의 효율적인 부분을 차지합니다.
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