판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7 #9386160

브룩스 자동화 ATR-7 (BROOKS AUTOMATION ATR-7) 은 반도체 생산에서 Fab 작업을 위해 서로 다른 자동 작업을 수행 할 수있는 다목적 웨이퍼 핸들러입니다. 이 제품은 웨이퍼를 효율적으로 이동, 전송, 처리하는 비용 효율적인 솔루션을 제공하기 때문에 프로세스 챔버 (process chamber), 클리어링 스테이션 (clearing station) 및 클린 룸 (clean room) 에 사용됩니다. ATR-7 (ATR-7) 은 새로운 비전 시스템을 사용하여 환경의 객체를 정확하게 식별하고 조작 할 수 있습니다. ATR-7 은 비전 시스템 (vision system) 을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 를 식별할 뿐만 아니라 조작 및 처리를 위해 웨이퍼에서 특정 지점을 찾을 수 있습니다. 밀도 높은 웨이퍼 스토리지 (wafer storage) 를 제공하며, 카세트에서 로드하고 언로드하는 동안 부분 저장과 전송, 또는 일부 웨이퍼 (wafer) 를 모두 사용할 수 있습니다. ATR-7 은 또한 처리량을 극대화하고 웨이퍼 (wafer) 처리에 유연성을 제공하여 애플리케이션별 요구 사항과의 호환성을 보장합니다. ATR-7 은 웨이퍼 (wafer) 처리 외에도 성능을 향상시키고 전반적인 기능을 향상시키는 추가 기능도 제공합니다. 일반 툴 컨트롤러 인터페이스 (Generic Tool Controller Interface) 및 고급 디지털 I/O (Digital I/O) 와 같은 소프트웨어 및 하드웨어 옵션과 통합하여 호스트와 대화식으로 통신할 수 있습니다. ATR-7에는 인터 록, 자동 도어 닫기, 출력 차단, 전원 장애 방지 등의 여러 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 안전 (Safety) 기능은 공구 작동이 안전하고 피해의 위험이 최소화되도록 하는 데 도움이 됩니다. 또한, ATR-7에는 직관적인 사용자 인터페이스가 포함되어 있어 설치와 사용이 간편합니다. 공압 및 전동 웨이퍼 포드 캐리어와 호환되며 200mm ~ 300mm 크기를 처리 할 수 있습니다. ATR-7은 혁신적이고 다재다능한 기계로, 웨이퍼 처리 작업에 이상적입니다. 정확한 비전 시스템, 다양한 옵션 기능, 안전 기능을 갖춘 BROOKS AUTOMATION ATR-7 은 모든 Wafer 처리 요구 사항을 충족하는 포괄적이고 안정적인 솔루션입니다.