판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7 #293643073

BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7은 반도체 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 다양한 웨이퍼 유형과 크기를 처리할 수 있으며, 웨이퍼를 손상시키지 않고 안전하게 운송, 정렬, 찾을 수 있습니다. ATR-7은 마이크로 프로세서 제어 서보 시스템 (microprocessor-controlled servo system) 이 지원하는 전동 단계를 활용하는 정밀 구동 정렬 장비를 갖추고 있습니다. 전동식 스테이지는 매우 정밀한 X 및 Y 좌표 포지셔닝이 가능하며 300mm 거리에서 공간 반복 속도 0.3 (m) 를 제공 할 수 있습니다. 이 정밀한 정렬 단위는 최대 2.5 mm (mm) 의 치수 변형을 갖는 웨이퍼의 정확한 정렬 및 전송을 허용합니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 다양한 안전 기능으로 설계되어 각 웨이퍼의 위치를 보장하고 잠재적 인 오염 위험을 줄일 수 있습니다. 여기에는 웨이퍼 (wafer) 의 오해를 감지하는 데 사용되는 여러 센서 (sensor) 와 웨이퍼 (wafer) 를 전송할 때 적절한 정렬을 보장하는 통합 모니터링 머신 (monitoring machine) 이 포함됩니다. 다른 기능으로는 가열식 트럭 모듈, 전자적으로 조절 가능한 프로세스 속도, 데이터 로깅 기능 등이 있습니다. 웨이퍼를 안전하게 운송 및 정렬하기 위해 ATR-7 웨이퍼 핸들러는 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 및 웨이퍼-캐리어 (wafer-to-carrier) 정확도 모두에서 다양한 옵션으로 설계되었습니다. 포함 된 웨이퍼 캐리어는 정확하고 반복 가능한 정렬을 가능하게하며, 각 웨이퍼가 운송 중 제대로 중앙에 위치하게하며 최대 20 200mm, 7 인치 또는 3 개의 8 인치 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 캐리어에는 개별 웨이퍼를 감지하기위한 감지 메커니즘과 STS, ETS 또는 DTS 테스트 테이프가 있습니다. 또한, ATR-7의 wafer-to-carrier 정확도는 0.15 äm에서 3.5 äm까지 조정 가능하며, 캐리어 내에 각 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 002-7090-05 ATR-7 (ATR-7) 은 반도체 응용 프로그램에서 안전하고, 정확하며, 효율적인 웨이퍼 전송 및 자동 웨이퍼 처리를 위해 설계된 안정적이고 정밀한 웨이퍼 핸들러입니다. 높은 정확도, 반복 가능한 정렬 (repeatable alignment) 및 다양한 웨이퍼 크기와 유형 (모두 안전하고 안전한 방식) 을 처리할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 제품은 Wafer 의 정확한 정렬, 추적, 전송이 필요한 자동화된 Wafer 처리 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.