판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-5885-02 #9153585
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BROOKS AUTOMATION 002-5885-02 Wafer Handler는 반도체 제조에 사용하기 위해 완전히 자동화 된 공정 가능 재료 처리 도구입니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 집적 회로 생산에 사용하도록 특별히 설계되었으며 안전, 일관성, 효율적인 웨이퍼 전송이 가능합니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 모듈식 디자인으로 구성되며, 원하는 환경에 맞게 완전히 사용자 정의할 수 있습니다. 제어 가능한 회전 테이블, 사용자 인터페이스/제어판, 웨이퍼 정렬 구성 요소, 전송 장비 구성 요소 등이 있습니다. 웨이퍼 처리기에는 사용자 안전을 보장하는 안전 기능도 있습니다. 로터리 테이블을 사용하면 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 를 최대 12 인치 직경의 위치 지정, 방향 지정 및 처리 할 수 있습니다. 조정 가능한 테이블 속도 (Adjustable table speed) 에는 빠르고 느린 작동을 위한 설정이 있으며, 가장 느린 설정은 연약한 재료를 섬세하게 처리하도록 설계되었습니다. 회전 테이블은 또한 양방향 (bi-directional) 동작을 제공하여 전체 웨이퍼 서피스의 전체 범위를 보장합니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 의 사용자 인터페이스는 키패드가 있는 그래픽 디스플레이 (Graphical Display) 로 구성되며, 모든 관련 작동 매개변수를 쉽고 깨끗하게 액세스할 수 있습니다. 또한 이 인터페이스는 테이블 위치 (table position) 에 대한 실시간 피드백 기능을 제공하여 사용자가 설정을 적절히 조정할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러에는 구성 가능한 I/O 포트가 있어 다른 산업 장비와의 통합이 가능합니다. 웨이퍼 핸들러에 포함된 웨이퍼 정렬 컴포넌트 (wafer alignment components) 는 높은 수준의 정밀도를 보장합니다. 자동 (automated) 프로세스를 활용하여 처리량을 극대화하고 웨이퍼 파손 (Wafer Breakage) 및 거부율을 최소화하기 위해 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. 평면 에 "와퍼 '를 집어 넣을 수 있게 됨 으로써" 웨이퍼' 가 움직 이는 진동 을 최소화 하고, 그것 은 구성 요소 를 손상 시킬 가능성 이 있다. "웨이퍼 핸들러 '의 수송" 시스템' 구성 요소 는 제조 과정 전체 에 걸쳐 효율적 이고 안전 한 "웨이퍼 '이동 을 하도록 설계 되었다. 공정 능력은 진공 시스템, 로봇 암, 컨베이어, 기타 기계 등 다양한 응용 분야에서 사용하도록 설계되었습니다. 전송 장치에는 비전 머신 (vision machine) 구성 요소도 포함되어 있으며, 이 구성 요소는 웨이퍼 이동을 온라인으로 모니터링하는 데 사용됩니다. 결론적으로, 002-5885-02 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 자동화된 공정 가능 재료 처리를 통해 집적 회로 생산에 매우 효율적이도록 설계되었습니다. 안전 (Safety) 기능, 사용자 인터페이스, 웨이퍼 정렬 구성 요소 및 안전하고 효율적인 웨이퍼 처리를 위한 전송 도구를 제공합니다. 마지막으로, 통합 비전 자산 (Integrated Vision Asset) 은 웨이퍼 이동을 온라인으로 모니터링하여 높은 수준의 정확도와 처리량을 제공합니다.
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