판매용 중고 BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV A #9292367

BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV A는 자동화되고, 정확하며, 빠른 웨이퍼 이동과 제어를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 정밀도, 미세 모션 제어 및 자동 웨이퍼 처리의 조합을 제공합니다. 반도체 산업의 중요한 웨이퍼 처리 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 002-1099-02 REV A 웨이퍼 핸들러는 단일 수직 열로 로우 프로파일 (low-profile) 구성을, 안정성 및 기동성 향상을 위해 상위 및 하위 구성 요소를 제공합니다. 수직 (vertical) 열은 웨이퍼의 동작을 제어하여 정확하고 정확한 위치를 지정합니다. 토크 모터가 장착 된 로봇 암 (robotic arm) 을 사용하여 수동 및 자동 그립, 이동 및 리트랙트 기능을 사용할 수 있습니다. 로봇 암에는 고속 및 가속 성능을 위해 내부 BLDC (Brushless DC) 모터가 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 또한 최대 3 개의 웨이퍼를 동시에 조작 할 수있는 독특한 3 축 작동을 특징으로합니다. 각 축에는 통합 인코더 및 모터가 장착 된 벨트 구동 회전 액추에이터가 있습니다. 인코더는 작업 중 웨이퍼의 정확한 위치를 지정하기 위해 0.05mm (0.05mm) 의 해상도를 제공합니다. 벨트 드라이브는 부드럽고 조용한 작동을 제공합니다. BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV A에는 정확하고 제어된 웨이퍼 배치를 위해 프로그래밍 가능한 웨이퍼 포지셔닝 인터페이스도 있습니다. 인터페이스에는 웨이퍼 위치를 모니터링하는 두 개의 정밀 광학 인코더와 웨이퍼 위치를 제어하는 PLC (programmable logic controller) 가 있습니다. 수송 및 취급 과정에서 웨이퍼를 안전하게 보관하는 에어베어 (Air Bearing) 진공 척 (Vacuum Chuck) 이 장비에 포함되어 있습니다. 002-1099-02 REV A에는 단순화된 시스템 작동 및 제어를 위한 사용자 인터페이스도 있습니다. 사용자 인터페이스에는 다기능 디스플레이 (Multi-function Display) 와 장치 프로그래밍 및 작동을위한 그래픽 터치 스크린 인터페이스 (Graphical Touch-Screen Interface) 가 사용자 인터페이스를 사용하면 웨이퍼 처리기 (Wafer Handler Machine) 의 효율적이고 정확한 작동이 가능합니다. BROOKS AUTOMATION 002-1099-02 REV A는 고급 웨이퍼 핸들러 툴로서, 뛰어난 정밀도와 속도를 자동화된 웨이퍼 처리 기능과 결합합니다. 반도체 업계를 위한 안정적이고 견고한 툴로서, 광범위한 애플리케이션에 대해 정확하고 빠른 (fast) 웨이퍼 (wafer) 포지셔닝 및 조작을 제공할 수 있습니다.